Reyndar er jónageislaaðstoðuð útfellingartækni samsett tækni. Þetta er samsett yfirborðsjónameðferðartækni sem sameinar jónaígræðslu og efnislega gufuútfellingartækni, og ný tegund af jónageislayfirborðsbestunartækni. Auk kostanna við efnislega gufuútfellingu getur þessi tækni stöðugt vaxið hvaða þykkt sem er af filmu við strangari stjórnunarskilyrði, bætt kristöllun og stefnu filmulagsins verulega, aukið viðloðunarstyrk filmulagsins/undirlagsins, bætt þéttleika filmulagsins og myndað samsettar filmur með kjörnum steikíómetrískum hlutföllum við nálægt stofuhita, þar á meðal nýjar gerðir af filmum sem ekki er hægt að fá við stofuhita og þrýsting. Jónageislaaðstoðuð útfelling heldur ekki aðeins kostum jónaígræðsluferlisins, heldur getur hún einnig þakið undirlagið með allt annarri filmu en undirlagið.
Í alls kyns eðlisfræðilegri gufuútfellingu og efnafræðilegri gufuútfellingu er hægt að bæta við setti af hjálparsprengjujónbyssum til að mynda IBAD-kerfi og það eru tvö almenn IBAD-ferli sem hér segir, eins og sýnt er á myndinni:
Eins og sést á mynd (a) er rafeindageislauppgufunargjafi notaður til að geisla filmulagið með jónageislanum sem jónbyssan sendir frá sér, og þannig verður útfelling með jónageisla. Kosturinn er sá að hægt er að stilla orku og stefnu jónageislans, en aðeins er hægt að nota eina eða takmarkaða málmblöndu eða efnasamband sem uppgufunargjafa, og gufuþrýstingur hvers málmblönduþáttar og efnasambands er mismunandi, sem gerir það erfitt að fá filmulag með upprunalegu uppgufunargjafasamsetningunni.
Mynd (b) sýnir útfellingu með jónageislaspútrun, einnig þekkt sem tvöföld jónageislaspútrun, þar sem skotmarkið er úr jónageislaspútrunarhúðunarefni, spútrunarafurðirnar eru notaðar sem uppspretta. Þegar jónageislaspútrun er sett á undirlagið er hún sett á með annarri jónagjafa. Kosturinn við þessa aðferð er að spútruðu agnirnar sjálfar hafa ákveðna orku, þannig að þær festast betur við undirlagið; hægt er að spútra hvaða íhlut sem er í skotmarkinu, en einnig er hægt að sprauta við filmuna með hvarfsprútrun, sem gerir það auðvelt að aðlaga samsetningu filmunnar, en útfellingarhagkvæmni hennar er lítil, skotmarkið er dýrt og vandamál eins og sértæk spútrun eru til staðar.
Birtingartími: 8. nóvember 2022