Segulspúttunarhúðun er framkvæmd með glóútfellingu, með lágum útfellingarstraumþéttleika og lágum plasmaþéttleika í húðunarklefanum. Þetta gerir það að verkum að segulspúttunartækni hefur ókosti eins og lágan límingakraft filmuundirlagsins, lágan málmjónunarhraða og lágan útfellingarhraða. Í segulspúttunarhúðunarvélinni er bætt við bogaútfellingartæki sem getur notað háþéttni rafeindaflæðisins í bogaplasmanum sem myndast við bogaútfellingu til að hreinsa vinnustykkið. Það getur einnig tekið þátt í húðun og hjálparútfellingu.
Bætið við rafsegulbogaútblástursaflgjafa í segulbogaspúttunarvélinni, sem getur verið lítill bogagjafi, rétthyrndur, flatur bogagjafi eða sívalur katóðubogagjafi. Rafeindaflæðið með mikilli þéttleika sem myndast af katóðubogagjafanum getur gegnt eftirfarandi hlutverkum í öllu ferlinu við segulbogaspúttunar:
1. Hreinsið vinnustykkið. Áður en húðun er framkvæmd skal kveikja á katóðubogagjafanum o.s.frv., jóna gasið með bogarafleiðni og hreinsa vinnustykkið með argonjónum með lága orku og mikla þéttleika.
2. Bogagjafinn og segulstýringarmarkmiðið eru húðuð saman. Þegar segulspúttunarmarkmiðið með glóútskrift er virkjað til húðunar, virkjast einnig katóðubogagjafinn og báðar húðunargjafarnir eru húðaðir samtímis. Þegar samsetning segulspúttunarmarkmiðsefnisins og bogagjafamarkmiðsefnisins er ólík, er hægt að húða mörg lög af filmu og filmulagið sem katóðubogagjafinn setur niður er millilag í marglaga filmunni.
3. Katóðubogagjafinn veitir rafeindaflæði með mikilli þéttleika þegar hann tekur þátt í húðun, sem eykur líkurnar á árekstri við atóm og hvarfgas í málmfilmulaginu, bætir útfellingarhraða, málmjónunarhraða og gegnir hlutverki í að aðstoða útfellingu.
Katóðubogagjafinn sem er stilltur í segulspúttunarhúðunarvélinni samþættir hreinsunargjafa, húðunargjafa og jónunargjafa, sem gegnir jákvæðu hlutverki í að bæta gæði segulspúttunarhúðunarinnar með því að nýta rafeindaflæði bogans í bogaplasmanum.
Birtingartími: 21. júní 2023