Valójában az ionnyalábos leválasztási technológia egy kompozit technológia. Ez egy kompozit felületi ionkezelési technika, amely ötvözi az ionimplantációs és a fizikai gőzfázisú leválasztási filmtechnológiát, valamint egy új típusú ionnyalábos felületoptimalizálási technikát. A fizikai gőzfázisú leválasztás előnyei mellett ez a technika szigorúbb szabályozási körülmények között képes folyamatosan növeszteni bármilyen vastagságú filmet, jelentősen javítani a filmréteg kristályosságát és orientációját, növelni a filmréteg/hordozó tapadási szilárdságát, javítani a filmréteg sűrűségét, és ideális sztöchiometrikus arányú összetett filmeket szintetizálni közel szobahőmérsékleten, beleértve az új típusú filmeket is, amelyeket szobahőmérsékleten és nyomáson nem lehet előállítani. Az ionnyalábos leválasztás nemcsak az ionimplantációs eljárás előnyeit őrzi meg, hanem a hordozót teljesen más filmmel is bevonhatja, mint a hordozót.
Mindenféle fizikai gőzfázisú leválasztásnál és kémiai gőzfázisú leválasztásnál kiegészítő bombázó ionágyúk hozzáadásával létrehozható egy IBAD rendszer, és két általános IBAD folyamat létezik, az alábbiak szerint, amint az az ábrán látható:
Amint az az (a) ábrán látható, egy elektronnyalábos párologtató forrást használnak a filmréteg besugárzására az ionágyú által kibocsátott ionsugárral, így megvalósítva az ionnyalábbal segített leválasztást. Az előnye, hogy az ionnyaláb energiája és iránya állítható, de csak egyetlen vagy korlátozott ötvözet vagy vegyület használható párologtató forrásként, és az ötvözetkomponens és a vegyület minden egyes gőznyomása eltérő, ami megnehezíti az eredeti párologtató forrás összetételű filmréteg előállítását.
A (b) ábra az ionsugaras porlasztásos leválasztást mutatja, amelyet kettős ionsugaras porlasztásos leválasztásnak is neveznek, amelyben az ionsugaras porlasztásos bevonóanyagból készült céltárgyat, a porlasztási termékeket használják forrásként. A hordozóra való felvitel során az ionsugaras porlasztásos leválasztást egy másik ionforrással történő besugárzással érik el. Ennek a módszernek az az előnye, hogy a porlasztott részecskék maguk is rendelkeznek egy bizonyos energiával, így jobb tapadást biztosítanak a hordozóhoz; a céltárgy bármely komponense bevonható porlasztással, de reakcióporlasztással is bevihető a filmbe, könnyen beállítható a film összetétele, de a leválasztási hatékonyság alacsony, a céltárgy drága, és problémák merülnek fel, például a szelektív porlasztás.
Közzététel ideje: 2022. november 8.