1. Avákuumpárologtatásos bevonatA folyamat magában foglalja a filmanyagok elpárologtatását, a gőzatomok nagyvákuumban történő szállítását, valamint a gőzatomok nukleációjának és növekedésének folyamatát a munkadarab felületén.
2. A vákuumos párologtatásos bevonat lerakódási vákuumfoka magas, általában 10-510-3Pa. A gázmolekulák szabad úthossza 1~10 m nagyságrendű, ami jóval nagyobb, mint a párolgási forrástól a munkadarabig mért távolság, ezt a távolságot párolgási távolságnak nevezik, általában 300~800 mm. A bevonat részecskéi alig ütköznek a gázmolekulákkal és a gőzatomokkal, és elérik a munkadarabot.
3. A vákuumos párologtatásos bevonatréteg nem tekercselt bevonat, és a gőzatomok nagy vákuum alatt közvetlenül a munkadarabra jutnak. Csak a munkadarab párologtatási forrása felé néző oldala kaphatja meg a filmréteget, a munkadarab oldala és hátulja alig kapja meg a filmréteget, és a filmréteg bevonata gyenge.
4. A vákuumpárologtatásos bevonóréteg részecskéinek energiája alacsony, és a munkadarabot elérő energia a párolgás által szállított hőenergia. Mivel a munkadarab a vákuumpárologtatásos bevonás során nincs előfeszítve, a fématomok a párolgás során csak a párolgáshőre támaszkodnak, a párolgási hőmérséklet 1000~2000 °C, a szállított energia pedig 0,1~0,2 eV-nak felel meg, így a filmrészecskék energiája alacsony, a filmréteg és a mátrix közötti kötési erő kicsi, és nehéz összetett bevonatot kialakítani.
5. A vákuumos bepárlásos bevonatréteg finom szerkezetű. A vákuumos bepárlásos bevonatolási eljárás során nagy vákuum alatt képződnek, és a gőzben lévő filmrészecskék alapvetően atomi méretűek, finom magot képezve a munkadarab felületén.
Közzététel ideje: 2023. június 14.