A magnetronos porlasztásos bevonatolást parázskisüléssel, alacsony kisülési áramsűrűséggel és alacsony plazmasűrűséggel végzik a bevonókamrában. Emiatt a magnetronos porlasztási technológia hátrányai közé tartozik az alacsony filmhordozó-kötési erő, az alacsony fémionizációs sebesség és az alacsony lerakódási sebesség. A magnetronos porlasztásos bevonógépben egy ívkisüléses eszközt alkalmaznak, amely az ívkisülés által generált nagy sűrűségű elektronáramot használja fel az ívplazmában a munkadarab tisztítására, valamint részt vehet a bevonatolásban és a kiegészítő lerakódásban is.
Adjon hozzá egy ívkisüléses áramforrást a magnetronos porlasztásos bevonógéphez, amely lehet egy kis ívforrás, egy téglalap alakú sík ívforrás vagy egy hengeres katódos ívforrás. A katódos ívforrás által generált nagy sűrűségű elektronáram a következő szerepet játszhatja a magnetronos porlasztásos bevonatolás teljes folyamatában:
1. Tisztítsa meg a munkadarabot. Bevonás előtt kapcsolja be a katódívforrást stb., ionizálja a gázt ívelektron-áramlással, és tisztítsa meg a munkadarabot alacsony energiájú és nagy sűrűségű argonionokkal.
2. Az ívforrást és a mágneses vezérlőcéltárgyat együttesen vonják be. Amikor a magnetron porlasztási céltárgyat parázskisüléssel aktiválják a bevonáshoz, a katód ívforrása is aktiválódik, és mindkét bevonóforrás egyidejűleg vonódik be. Ha a magnetron porlasztási céltárgy anyagának és az ívforrás céltárgy anyagának összetétele eltérő, több réteg filmet lehet felvinni, és a katód ívforrás által lerakódott filmréteg közbenső rétegként szolgál a többrétegű filmben.
3. A katódívforrás nagy sűrűségű elektronáramlást biztosít a bevonás során, növelve az ütközés valószínűségét a porlasztott fémfilmréteg atomjaival és a reakciógázokkal, javítva a lerakódási sebességet, a fémionizációs sebességet, és szerepet játszva a lerakódás elősegítésében.
A magnetron porlasztó bevonógépben konfigurált katódívforrás egy tisztítóforrást, bevonóforrást és ionizációs forrást integrál, pozitív szerepet játszva a magnetron porlasztó bevonat minőségének javításában az ívplazmában lévő ívelektron-áramlás kihasználásával.
Közzététel ideje: 2023. június 21.