Anfèt, teknoloji depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon se yon teknoloji konpoze. Li se yon teknik tretman sifas konpoze ak iyon ki konbine teknoloji fim enplantasyon iyon ak depozisyon fizik vapè, epi yon nouvo kalite teknik optimize sifas gwo bout bwa iyon. Anplis avantaj depozisyon fizik vapè, teknik sa a ka kontinye fè nenpòt epesè fim grandi anba kondisyon kontwòl ki pi strik, amelyore kristalinite ak oryantasyon kouch fim nan pi siyifikativman, ogmante fòs adezyon kouch fim/substra a, amelyore dansite kouch fim nan, epi sentetize fim konpoze ak rapò estekiyometrik ideyal nan tanperati chanm ki toupre, ki gen ladan nouvo kalite fim ki pa ka jwenn nan tanperati chanm ak presyon. Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon pa sèlman kenbe avantaj pwosesis enplantasyon iyon an, men li kapab tou kouvri substra a ak yon fim konplètman diferan de substra a.
Nan tout kalite depo fizik vapè ak depo chimik vapè, yo ka ajoute yon seri zam iyon bonbadman oksilyè pou fòme yon sistèm IBAD, epi gen de pwosesis IBAD jeneral jan sa a, jan yo montre nan foto a:
Jan yo montre nan Figi (a), yo itilize yon sous evaporasyon gwo bout bwa elektwon pou iradye kouch fim nan ak gwo bout bwa iyon ki emèt nan kanon iyon an, konsa reyalize depo asistans gwo bout bwa iyon. Avantaj la se ke yo ka ajiste enèji ak direksyon gwo bout bwa iyon an, men se sèlman yon sèl alyaj oswa yon konpoze limite ki ka itilize kòm sous evaporasyon an, epi chak presyon vapè konpozan alyaj la ak konpoze a diferan, sa ki fè li difisil pou jwenn kouch fim nan ak konpozisyon sous evaporasyon orijinal la.
Imaj (b) a montre depo asistans pulverizasyon gwo bout bwa iyon an, ke yo rele tou depo pulverizasyon doub gwo bout bwa iyon, kote sib la fèt ak yon materyèl kouch pulverizasyon gwo bout bwa iyon, epi pwodwi pulverizasyon yo itilize kòm sous. Pandan y ap depoze l sou substra a, depo asistans pulverizasyon gwo bout bwa iyon an reyalize pa iradyasyon ak yon lòt sous iyon. Avantaj metòd sa a se ke patikil pulverizasyon yo menm gen yon sèten enèji, kidonk gen yon pi bon adezyon ak substra a; nenpòt eleman nan sib la ka sibi yon kouch pulverizasyon, men tou, li kapab sibi yon pulverizasyon reyaksyon pulverizasyon nan fim nan, sa ki fasil pou ajiste konpozisyon fim nan, men efikasite depo li ba, sib la chè epi gen pwoblèm tankou pulverizasyon selektif.
Dat piblikasyon: 8 novanm 2022