1. Lakouch evaporasyon vakyòmPwosesis la gen ladan evaporasyon materyèl fim yo, transpò atòm vapè nan yon gwo vid, ak pwosesis nikleyasyon ak kwasans atòm vapè sou sifas pyès la.
2. Degre vakyòm depo kouch evaporasyon vakyòm lan wo, jeneralman 10-510-3Chemen lib molekil gaz yo se 1 ~ 10m lòd mayitid, ki pi plis pase distans ki genyen ant sous evaporasyon an ak pyès travay la, distans sa a rele distans evaporasyon an, jeneralman 300 ~ 800mm. Patikil kouch yo diman kolizyone ak molekil gaz yo ak atòm vapè yo epi rive nan pyès travay la.
3. Kouch evaporasyon vakyòm lan pa plake anba yon vakyòm wo, epi atòm vapè yo ale dirèkteman nan pyès travay la anba yon gwo vakyòm. Se sèlman bò ki bay sou sous evaporasyon an sou pyès travay la ki ka jwenn kouch fim nan, epi bò ak dèyè pyès travay la apèn ka jwenn kouch fim nan, epi kouch fim nan pa byen plake.
4. Enèji patikil kouch evaporasyon vakyòm nan ba, epi enèji ki rive nan pyès travay la se enèji chalè evaporasyon an pote. Piske pyès travay la pa gen okenn polarizasyon pandan kouch evaporasyon vakyòm nan, atòm metal yo sèlman depann sou chalè vaporizasyon pandan evaporasyon an, tanperati evaporasyon an se 1000 ~ 2000 °C, epi enèji ki pote a ekivalan a 0.1 ~ 0.2eV, kidonk enèji patikil fim nan ba, fòs lyezon ant kouch fim nan ak matris la piti, epi li difisil pou fòme yon kouch konpoze.
5. Kouch evaporasyon vakyòm nan gen yon estrikti amann. Pwosesis evaporasyon vakyòm nan fòme anba yon gwo vakyòm, epi patikil fim ki nan vapè a yo fondamantalman nan echèl atomik, sa ki fòme yon nwayo amann sou sifas pyès travay la.
Lè piblikasyon an: 14 jen 2023