Kouch pulverizasyon mayetron an fèt nan yon egzeyat lumineux, ak yon dansite kouran egzeyat ki ba ak yon dansite plasma ki ba nan chanm kouch la. Sa fè teknoloji pulverizasyon mayetron an gen dezavantaj tankou yon fòs lyezon substrat fim ki ba, yon to iyonizasyon metal ki ba, ak yon to depo ki ba. Nan machin kouch pulverizasyon mayetron an, yo ajoute yon aparèy egzeyat ark, ki ka itilize koule elektwon dansite segondè nan plasma ark ki pwodui pa egzeyat ark la pou netwaye pyès la, epi li kapab patisipe tou nan kouch ak depo oksilyè.
Ajoute yon sous pouvwa egzeyat ark nan machin kouch pulverizasyon mayetron an, ki kapab yon ti sous ark, yon sous ark plan rektangilè, oswa yon sous ark katod silendrik. Koule elektwon dansite segondè ki pwodui pa sous ark katod la ka jwe wòl sa yo nan tout pwosesis kouch pulverizasyon mayetron an:
1. Netwaye pyès la. Anvan ou aplike kouch la, limen sous ark katod la, elatriye, iyonize gaz la ak koule elektwon ark la, epi netwaye pyès la ak iyon agon ki ba enèji ak gwo dansite.
2. Sous ark la ak sib kontwòl mayetik la kouvri ansanm. Lè sib pulverizasyon mayetron an ak egzeyat lumineux la aktive pou kouch la, sous ark katod la aktive tou, epi tou de sous kouch yo kouvri an menm tan. Lè konpozisyon materyèl sib pulverizasyon mayetron an ak materyèl sib sous ark la diferan, plizyè kouch fim ka plake, epi kouch fim ki depoze pa sous ark katod la se yon kouch entèmedyè nan fim milti-kouch la.
3. Sous ark katod la bay yon koule elektwon dansite wo lè l ap patisipe nan kouch la, sa ki ogmante pwobabilite pou kolizyon ak atòm kouch fim metal ki te flite yo ak gaz reyaksyon yo, amelyore vitès depo a, vitès iyonizasyon metal la, epi jwe yon wòl nan ede depo a.
Sous ark katod ki configuré nan machin kouch pulverizasyon mayetron an entegre yon sous netwayaj, yon sous kouch, ak yon sous iyonizasyon, jwe yon wòl pozitif nan amelyore kalite kouch pulverizasyon mayetron an lè l sèvi avèk koule elektwon ark nan plasma ark la.
Lè piblikasyon an: 21 jen 2023