Zapravo, tehnologija taloženja uz pomoć ionskog snopa je kompozitna tehnologija. To je tehnika obrade kompozitne površine ionima koja kombinira tehnologiju ionske implantacije i fizičkog taloženja filma iz parne faze, te novu vrstu tehnike optimizacije površine ionskim snopom. Osim prednosti fizičkog taloženja iz parne faze, ova tehnika može kontinuirano uzgajati film bilo koje debljine pod strožim uvjetima kontrole, značajnije poboljšati kristalnost i orijentaciju sloja filma, povećati čvrstoću prianjanja sloja filma/podloge, poboljšati gustoću sloja filma i sintetizirati složene filmove s idealnim stehiometrijskim omjerima na temperaturi blizu sobne, uključujući nove vrste filmova koji se ne mogu dobiti na sobnoj temperaturi i tlaku. Taloženje uz pomoć ionskog snopa ne samo da zadržava prednosti procesa ionske implantacije, već može i prekriti podlogu potpuno drugačijim filmom od podloge.
Kod svih vrsta fizičkog i kemijskog taloženja iz parne faze, može se dodati skup pomoćnih bombarderskih ionskih topova kako bi se formirao IBAD sustav, a postoje dva opća IBAD procesa kako slijedi, kao što je prikazano na slici:
Kao što je prikazano na slici (a), izvor isparavanja elektronskim snopom koristi se za ozračivanje sloja filma ionskim snopom emitiranim iz ionskog topa, čime se ostvaruje taloženje uz pomoć ionskog snopa. Prednost je u tome što se energija i smjer ionskog snopa mogu podešavati, ali se kao izvor isparavanja može koristiti samo jedna ili ograničena legura ili spoj, a tlak pare svake komponente legure i spoja je različit, što otežava dobivanje sloja filma izvornog sastava izvora isparavanja.
Slika (b) prikazuje taloženje uz pomoć ionskog raspršivanja, poznato i kao dvostruko ionsko raspršivanje, u kojem je meta izrađena od materijala za premazivanje ionskim raspršivanjem, a produkti raspršivanja koriste se kao izvor. Prilikom nanošenja na podlogu, taloženje uz pomoć ionskog raspršivanja postiže se ozračivanjem s drugim izvorom iona. Prednost ove metode je u tome što same raspršene čestice imaju određenu energiju, pa postoji bolje prianjanje na podlogu; bilo koja komponenta mete može se raspršiti, ali se također može reakcijski raspršiti u film, lako se prilagođava sastav filma, ali učinkovitost taloženja je niska, meta je skupa i postoje problemi poput selektivnog raspršivanja.
Vrijeme objave: 08.11.2022.