मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग ग्लो डिस्चार्ज में की जाती है, जिसमें कम डिस्चार्ज करंट डेंसिटी और कोटिंग चैंबर में कम प्लाज़्मा डेंसिटी होती है। इससे मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग तकनीक में कम फिल्म सब्सट्रेट बॉन्डिंग फ़ोर्स, कम मेटल आयनीकरण दर और कम जमाव दर जैसे नुकसान होते हैं। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन में, एक आर्क डिस्चार्ज डिवाइस जोड़ा जाता है, जो वर्कपीस को साफ करने के लिए आर्क डिस्चार्ज द्वारा उत्पन्न आर्क प्लाज़्मा में उच्च घनत्व वाले इलेक्ट्रॉन प्रवाह का उपयोग कर सकता है, यह कोटिंग और सहायक जमाव में भी भाग ले सकता है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन में आर्क डिस्चार्ज पावर स्रोत जोड़ें, जो एक छोटा आर्क स्रोत, एक आयताकार प्लानर आर्क स्रोत या एक बेलनाकार कैथोड आर्क स्रोत हो सकता है। कैथोड आर्क स्रोत द्वारा उत्पन्न उच्च घनत्व इलेक्ट्रॉन प्रवाह मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग की पूरी प्रक्रिया में निम्नलिखित भूमिकाएँ निभा सकता है:
1. वर्कपीस को साफ करें। कोटिंग से पहले, कैथोड आर्क स्रोत आदि को चालू करें, आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाह के साथ गैस को आयनित करें, और कम ऊर्जा और उच्च घनत्व वाले आर्गन आयनों के साथ वर्कपीस को साफ करें।
2. आर्क स्रोत और चुंबकीय नियंत्रण लक्ष्य को एक साथ लेपित किया जाता है। जब ग्लो डिस्चार्ज के साथ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य को कोटिंग के लिए सक्रिय किया जाता है, तो कैथोड आर्क स्रोत भी सक्रिय हो जाता है, और दोनों कोटिंग स्रोतों को एक साथ लेपित किया जाता है। जब मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य सामग्री और आर्क स्रोत लक्ष्य सामग्री की संरचना अलग होती है, तो फिल्म की कई परतों को चढ़ाया जा सकता है, और कैथोड आर्क स्रोत द्वारा जमा की गई फिल्म परत बहु-परत फिल्म में एक इंटरलेयर होती है।
3. कैथोड आर्क स्रोत कोटिंग में भाग लेने पर उच्च घनत्व इलेक्ट्रॉन प्रवाह प्रदान करता है, जिससे स्पटरेड धातु फिल्म परत परमाणुओं और प्रतिक्रिया गैसों के साथ टकराव की संभावना बढ़ जाती है, जमाव दर, धातु आयनीकरण दर में सुधार होता है, और जमाव में सहायता करने में भूमिका निभाता है।
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन में कॉन्फ़िगर किया गया कैथोड आर्क स्रोत एक सफाई स्रोत, कोटिंग स्रोत और आयनीकरण स्रोत को एकीकृत करता है, जो आर्क प्लाज्मा में आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाह का उपयोग करके मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग की गुणवत्ता में सुधार करने में सकारात्मक भूमिका निभाता है।
पोस्ट करने का समय: जून-21-2023