Ua kōkua ʻia ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana i ke kukui Ion

ʻO ka ʻoiaʻiʻo, ʻo Ion beam assisted deposition technology he ʻenehana hui. He ʻenehana lapaʻau ion i hui pū ʻia me ka hoʻopili ʻana i ka ion implantation a me ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni hoʻoheheʻe kino kino, a me kahi ʻano hou o ka ion beam surface optimization technique. Ma waho aʻe o nā pōmaikaʻi o ka hoʻoheheʻe kino kino, hiki i kēia ʻenehana ke ulu mau i nā kiʻi ʻoniʻoni ma lalo o nā kūlana mana ikaika, e hoʻomaikaʻi i ka crystallinity a me ke ʻano o ka papa kiʻiʻoniʻoni i ʻoi aku ka nui, e hoʻonui i ka ikaika adhesion o ka papa kiʻiʻoniʻoni / substrate, e hoʻomaikaʻi i ka denseness o ka papa kiʻiʻoniʻoni, a synthesize i nā kiʻiʻoniʻoni hui me nā stoichiometric kūpono ma kahi kokoke i ke kiʻi ʻoniʻoni i loaʻa ʻole ke ʻano hou. ʻAʻole hoʻopaʻa wale ʻo Ion beam i nā pono o ke kaʻina hana implantation, akā hiki ke uhi i ka substrate me kahi kiʻiʻoniʻoni ʻokoʻa loa mai ka substrate.
Ma na ano a pau o ka waiho mahu kino a me ka mahu kemika, ua hiki ke hoohui ia i na pu hookuonoono kokua e hana i ka IBAD, a he elua mau hana IBAD maʻamau penei, e like me ia i hoikeia ma ka Pic.

E like me ka mea i hōʻike ʻia ma Pic (a), hoʻohana ʻia kahi kumu hoʻoheheʻe electron beam no ka hoʻomālamalama ʻana i ka papa kiʻiʻoniʻoni me ka kukuna ion i hoʻokuʻu ʻia mai ka pū ion, no laila e ʻike ai i ka waiho ʻana o ka ion beam. ʻO ka pōmaikaʻi, hiki ke hoʻololi ʻia ka ikehu a me ke kuhikuhi ʻana o ka ion beam, akā hiki ke hoʻohana ʻia i hoʻokahi wale nō a i ʻole ka hui pū ʻana e like me ke kumu evaporation, a ʻokoʻa kēlā me kēlā me kēia puʻupuʻu o ka ʻāpana a me ka hui, e paʻakikī ai ka loaʻa ʻana o ka papa kiʻiʻoniʻoni o ke kumu hoʻoheheʻe kumu.
Hōʻike ke kiʻi (b) i ka hoʻoheheʻe ʻana i ka ion beam sputtering-assisted deposition, i ʻike ʻia hoʻi ʻo ka lua ion beam sputtering deposition, kahi i hoʻohana ʻia ai ka pahu i hana ʻia me ka mea hoʻoheheʻe ion beam sputtering, hoʻohana ʻia nā huahana sputtering e like me ke kumu. ʻOiai e waiho ana ma luna o ka substrate, loaʻa ka hoʻoheheʻe ʻana i ka ion beam sputtering ma o ka hoʻomālamalama ʻana me kekahi kumu ion. ʻO ka pōmaikaʻi o kēia ʻano hana ʻo ia ka loaʻa ʻana o nā ʻāpana sputtered i kekahi ikehu, no laila ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻopili ʻana me ka substrate; Hiki ke hoʻopili ʻia kekahi ʻāpana o ka pahu hopu, akā hiki ke hoʻololi i ka sputtering i loko o ke kiʻiʻoniʻoni, maʻalahi e hoʻoponopono i ke ʻano o ka kiʻiʻoniʻoni, akā haʻahaʻa kona deposition pono, pipiʻi ke kumukūʻai a aia nā pilikia e like me ke koho sputtering.