હકીકતમાં, આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન ટેકનોલોજી એક સંયુક્ત ટેકનોલોજી છે. તે આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન અને ભૌતિક વરાળ ડિપોઝિશન ફિલ્મ ટેકનોલોજી અને એક નવા પ્રકારની આયન બીમ સપાટી ઑપ્ટિમાઇઝેશન તકનીકને જોડતી સંયુક્ત સપાટી આયન સારવાર તકનીક છે. ભૌતિક વરાળ ડિપોઝિશનના ફાયદાઓ ઉપરાંત, આ તકનીક વધુ કડક નિયંત્રણ પરિસ્થિતિઓમાં કોઈપણ જાડાઈ ફિલ્મને સતત વધારી શકે છે, ફિલ્મ સ્તરની સ્ફટિકીયતા અને દિશાને વધુ નોંધપાત્ર રીતે સુધારી શકે છે, ફિલ્મ સ્તર/સબસ્ટ્રેટની સંલગ્નતા શક્તિમાં વધારો કરી શકે છે, ફિલ્મ સ્તરની ઘનતામાં સુધારો કરી શકે છે અને નજીકના ઓરડાના તાપમાને આદર્શ સ્ટોઇકિયોમેટ્રિક ગુણોત્તર સાથે સંયોજન ફિલ્મોનું સંશ્લેષણ કરી શકે છે, જેમાં નવા પ્રકારની ફિલ્મોનો સમાવેશ થાય છે જે ઓરડાના તાપમાને અને દબાણ પર મેળવી શકાતી નથી. આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન માત્ર આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયાના ફાયદા જાળવી રાખતું નથી, પરંતુ સબસ્ટ્રેટને સબસ્ટ્રેટથી સંપૂર્ણપણે અલગ ફિલ્મથી પણ આવરી શકે છે.
તમામ પ્રકારના ભૌતિક વરાળ નિક્ષેપ અને રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપમાં, IBAD સિસ્ટમ બનાવવા માટે સહાયક બોમ્બાર્ડમેન્ટ આયન ગનનો સમૂહ ઉમેરી શકાય છે, અને ચિત્રમાં બતાવ્યા પ્રમાણે, નીચે મુજબ બે સામાન્ય IBAD પ્રક્રિયાઓ છે:
ચિત્ર (a) માં બતાવ્યા પ્રમાણે, આયન ગનમાંથી ઉત્સર્જિત આયન બીમ સાથે ફિલ્મ સ્તરને ઇરેડિયેટ કરવા માટે ઇલેક્ટ્રોન બીમ બાષ્પીભવન સ્ત્રોતનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, આમ આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપન પ્રાપ્ત થાય છે. ફાયદો એ છે કે આયન બીમ ઊર્જા અને દિશાને સમાયોજિત કરી શકાય છે, પરંતુ બાષ્પીભવન સ્ત્રોત તરીકે ફક્ત એક જ અથવા મર્યાદિત એલોય, અથવા સંયોજનનો ઉપયોગ કરી શકાય છે, અને એલોય ઘટક અને સંયોજનનું દરેક બાષ્પ દબાણ અલગ હોય છે, જે મૂળ બાષ્પીભવન સ્ત્રોત રચનાના ફિલ્મ સ્તરને મેળવવાનું મુશ્કેલ બનાવે છે.
ચિત્ર (b) આયન બીમ સ્પટરિંગ-સહાયિત ડિપોઝિશન દર્શાવે છે, જેને ડબલ આયન બીમ સ્પટરિંગ ડિપોઝિશન તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, જેમાં આયન બીમ સ્પટરિંગ કોટિંગ મટિરિયલથી બનેલા લક્ષ્ય, સ્પટરિંગ ઉત્પાદનોનો ઉપયોગ સ્ત્રોત તરીકે થાય છે. તેને સબસ્ટ્રેટ પર જમા કરતી વખતે, આયન બીમ સ્પટરિંગ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન બીજા આયન સ્ત્રોત સાથે ઇરેડિયેશન દ્વારા પ્રાપ્ત થાય છે. આ પદ્ધતિનો ફાયદો એ છે કે સ્પટર કરેલા કણોમાં ચોક્કસ ઊર્જા હોય છે, તેથી સબસ્ટ્રેટ સાથે વધુ સારી સંલગ્નતા હોય છે; લક્ષ્યના કોઈપણ ઘટકને સ્પટર કોટિંગ કરી શકાય છે, પરંતુ ફિલ્મમાં પ્રતિક્રિયા સ્પટરિંગ પણ હોઈ શકે છે, ફિલ્મની રચનાને સમાયોજિત કરવી સરળ છે, પરંતુ તેની ડિપોઝિશન કાર્યક્ષમતા ઓછી છે, લક્ષ્ય ખર્ચાળ છે અને પસંદગીયુક્ત સ્પટરિંગ જેવી સમસ્યાઓ છે.
પોસ્ટ સમય: નવેમ્બર-૦૮-૨૦૨૨