મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ ગ્લો ડિસ્ચાર્જમાં કરવામાં આવે છે, જેમાં કોટિંગ ચેમ્બરમાં ડિસ્ચાર્જ કરંટ ઘનતા ઓછી હોય છે અને પ્લાઝ્મા ઘનતા ઓછી હોય છે. આનાથી મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ ટેકનોલોજીમાં ઓછી ફિલ્મ સબસ્ટ્રેટ બોન્ડિંગ ફોર્સ, ઓછી મેટલ આયનીકરણ દર અને ઓછી ડિપોઝિશન દર જેવા ગેરફાયદા છે. મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીનમાં, એક આર્ક ડિસ્ચાર્જ ડિવાઇસ ઉમેરવામાં આવે છે, જે વર્કપીસને સાફ કરવા માટે આર્ક ડિસ્ચાર્જ દ્વારા ઉત્પન્ન થતા આર્ક પ્લાઝ્મામાં ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહનો ઉપયોગ કરી શકે છે, તે કોટિંગ અને સહાયક ડિપોઝિશનમાં પણ ભાગ લઈ શકે છે.
મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીનમાં એક આર્ક ડિસ્ચાર્જ પાવર સોર્સ ઉમેરો, જે એક નાનો આર્ક સોર્સ, લંબચોરસ પ્લેનર આર્ક સોર્સ અથવા નળાકાર કેથોડ આર્ક સોર્સ હોઈ શકે છે. કેથોડ આર્ક સોર્સ દ્વારા ઉત્પન્ન થતો ઉચ્ચ-ઘનતા ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગની સમગ્ર પ્રક્રિયામાં નીચેની ભૂમિકાઓ ભજવી શકે છે:
1. વર્કપીસ સાફ કરો. કોટિંગ કરતા પહેલા, કેથોડ આર્ક સ્ત્રોત વગેરે ચાલુ કરો, આર્ક ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ સાથે ગેસને આયનાઇઝ કરો, અને ઓછી ઉર્જા અને ઉચ્ચ ઘનતાવાળા આર્ગોન આયનોથી વર્કપીસ સાફ કરો.
2. ચાપ સ્ત્રોત અને ચુંબકીય નિયંત્રણ લક્ષ્ય એકસાથે કોટેડ હોય છે. જ્યારે ગ્લો ડિસ્ચાર્જ સાથે મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ લક્ષ્ય કોટિંગ માટે સક્રિય થાય છે, ત્યારે કેથોડ આર્ક સ્રોત પણ સક્રિય થાય છે, અને બંને કોટિંગ સ્રોતો એકસાથે કોટેડ થાય છે. જ્યારે મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ લક્ષ્ય સામગ્રી અને ચાપ સ્રોત લક્ષ્ય સામગ્રીની રચના અલગ હોય છે, ત્યારે ફિલ્મના બહુવિધ સ્તરો પ્લેટેડ કરી શકાય છે, અને કેથોડ આર્ક સ્રોત દ્વારા જમા કરાયેલ ફિલ્મ સ્તર મલ્ટિ-લેયર ફિલ્મમાં એક ઇન્ટરલેયર છે.
3. કોટિંગમાં ભાગ લેતી વખતે કેથોડ આર્ક સ્ત્રોત ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહ પૂરો પાડે છે, સ્પુટર્ડ મેટલ ફિલ્મ સ્તરના અણુઓ અને પ્રતિક્રિયા વાયુઓ સાથે અથડામણની સંભાવના વધારે છે, ડિપોઝિશન રેટ, મેટલ આયનીકરણ રેટમાં સુધારો કરે છે અને ડિપોઝિશનમાં સહાય કરવામાં ભૂમિકા ભજવે છે.
મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીનમાં ગોઠવાયેલ કેથોડ આર્ક સ્રોત સફાઈ સ્રોત, કોટિંગ સ્રોત અને આયનીકરણ સ્રોતને એકીકૃત કરે છે, જે આર્ક પ્લાઝ્મામાં આર્ક ઇલેક્ટ્રોન પ્રવાહનો ઉપયોગ કરીને મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગની ગુણવત્તા સુધારવામાં સકારાત્મક ભૂમિકા ભજવે છે.
પોસ્ટ સમય: જૂન-21-2023