1) Os obxectivos cilíndricos teñen unha taxa de utilización maior que os obxectivos planos. No proceso de revestimento, xa sexa un obxectivo de pulverización catódica cilíndrica de tipo magnético rotatorio ou de tipo tubo rotatorio, todas as partes da superficie do tubo obxectivo pasan continuamente a través da área de pulverización catódica xerada diante do imán permanente para recibir a pulverización catódica, e o obxectivo pode ser gravado uniformemente por pulverización catódica, e a taxa de utilización do obxectivo é alta. A taxa de utilización dos materiais obxectivo é de aproximadamente 80%~90%.
2) Os obxectivos cilíndricos non producirán facilmente "intoxicación polo obxectivo". Durante o proceso de revestimento, a superficie do tubo obxectivo sempre é pulverizada e gravada por ións, e non é doado acumular óxidos grosos e outras películas illantes na superficie, e non é doado producir "intoxicación polo obxectivo".
3) A estrutura do obxectivo de pulverización catódica cilíndrica tipo tubo de obxectivo rotatorio é sinxela e fácil de instalar.
4) O material do tubo obxectivo cilíndrico ten varios tipos. Obxectivo plano con obxectivo metálico refrixerado por auga directamente, e algúns non se poden procesar e formar obxectivos cilíndricos, como o obxectivo In2-SnO2, etc. con material en po para prensado isostático en quente para obter obxectivos en forma de placa, porque o tamaño non se pode facer grande e fráxil, polo que é necesario usar o método de soldadura e unha placa traseira de cobre para integrar e logo instalar na base do obxectivo. Ademais dos tubos metálicos, os obxectivos columnares tamén se poden pulverizar na superficie dos tubos de aceiro inoxidable con varios materiais que deben ser revestidos, como Si, Cr, etc.
Na actualidade, a proporción de obxectivos cilíndricos para revestimentos na produción industrial está a aumentar. Os obxectivos cilíndricos non só se usan para a máquina de revestimento vertical, senón tamén na máquina de revestimento de rolo a rolo. Nos últimos anos, os obxectivos xemelgos planos foron substituídos gradualmente polos obxectivos xemelgos cilíndricos.
——Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unha empresafabricante de máquinas de revestimento óptico.
Data de publicación: 11 de maio de 2023