Gu dearbh, ’s e teicneòlas co-dhèanta a th’ ann an teicneòlas tasgadh le taic gath ian. ’S e dòigh làimhseachaidh ian uachdar co-dhèanta a th’ ann a tha a’ cothlamadh teicneòlas implantachadh ian agus teicneòlas film tasgadh smùid corporra, agus seòrsa ùr de dhòigh leasachaidh uachdar gath ian. A bharrachd air buannachdan tasgadh smùid corporra, faodaidh an dòigh seo film tighead sam bith fhàs gu leantainneach fo chumhachan smachd nas cruaidhe, criostalachd agus treòrachadh an t-sreath film a leasachadh nas motha, neart greamachaidh an t-sreath film/substrate a mheudachadh, dùmhlachd an t-sreath film a leasachadh, agus filmichean co-dhèanta a cho-chur ri chèile le co-mheasan stoichiometric air leth freagarrach aig teòthachd faisg air an t-seòmar, a’ gabhail a-steach seòrsachan ùra de fhilmichean nach gabh fhaighinn aig teòthachd agus cuideam an t-seòmair. Chan e a-mhàin gu bheil tasgadh le taic gath ian a’ cumail buannachdan a’ phròiseis implantachadh ian, ach faodaidh e cuideachd an t-substrate a chòmhdach le film gu tur eadar-dhealaichte bhon t-substrate.
Anns a h-uile seòrsa tasgadh smùid corporra agus tasgadh smùid ceimigeach, faodar seata de ghunnaichean ian bomadh taiceil a chur ris gus siostam IBAD a chruthachadh, agus tha dà phròiseas IBAD coitcheann ann mar a leanas, mar a chithear san dealbh:
Mar a chithear ann am Dealbh (a), thathar a’ cleachdadh stòr falmhachaidh gath dealanach gus an còmhdach film a shoilleireachadh leis a’ ghath ian a tha air a leigeil a-mach às a’ ghunna ian, agus mar sin a’ toirt gu buil tasgadh le taic gath ian. Is e a’ bhuannachd gum faodar lùth agus stiùireadh gath ian atharrachadh, ach chan urrainnear ach aon aloidh no co-thàthadh cuibhrichte a chleachdadh mar an stòr falmhachaidh, agus tha cuideam smùide gach pàirt den aloidh agus den cho-thàthadh eadar-dhealaichte, a tha ga dhèanamh duilich còmhdach film fhaighinn den cho-dhèanamh tùsail den stòr falmhachaidh.
Tha dealbh (b) a’ sealltainn tasgadh le taic sputtering gathan ian, ris an canar cuideachd tasgadh sputtering gathan ian dùbailte, anns a bheil an targaid air a dhèanamh de stuth còmhdach sputtering gathan ian, agus na toraidhean sputtering air an cleachdadh mar an stòr. Nuair a thèid a thasgadh air an t-substrate, thèid tasgadh le taic sputtering gathan ian a choileanadh le bhith ga rèididheachd le stòr ian eile. Is e buannachd na dòigh seo gu bheil lùth sònraichte aig na mìrean sputtered fhèin, agus mar sin tha greamachadh nas fheàrr aca ris an t-substrate; faodar pàirt sam bith den targaid a chòmhdach le sputtering, ach faodar a sputtering ath-bhualadh a-steach don fhilm cuideachd, agus tha e furasta co-dhèanamh an fhilm atharrachadh, ach tha èifeachdas an tasgadh ìosal, tha an targaid daor agus tha duilgheadasan ann leithid sputtering roghnach.
Àm puist: 8 dhen t-Samhain 2022