1. Ancòmhdach falmhachaidh falamhTha am pròiseas a’ toirt a-steach falmhachadh stuthan film, còmhdhail ataman ceò ann am falamh àrd, agus pròiseas niùclasachadh is fàs ataman ceò air uachdar a’ phìos obrach.
2. Tha ìre falamh tasgadh còmhdach falamh falamh àrd, san fharsaingeachd 10-510-3Pa. Tha slighe shaor nam moileciuilean gas 1 ~ 10m de dh’ òrdugh meudachd, a tha mòran nas motha na an t-astar bhon stòr falmhachaidh chun a’ phìos obrach, canar an t-astar falmhachaidh ris an astar seo, mar as trice 300 ~ 800mm. Is gann gun do bhuail na mìrean còmhdaich ri moileciuilean gas agus dadaman smùide agus gun do ruig iad am pìos obrach.
3. Chan eil an còmhdach falamh falamh air a phlàtadh le sreang, agus bidh na dadaman smùide a’ dol dìreach chun phìos obrach fo fhalamh àrd. Chan fhaigh ach an taobh a tha mu choinneamh stòr falamhachaidh a’ phìos obrach an còmhdach film, agus is gann gun urrainn do thaobh is cùl a’ phìos obrach an còmhdach film fhaighinn, agus tha droch phlàtadh aig an còmhdach film.
4. Tha lùth nam mìrean den t-sreath còmhdach falmhachaidh falamh ìosal, agus is e an lùth teas a tha air a ghiùlan leis a’ ghalachadh an lùth a ruigeas an obair-phìos. Leis nach eil claonadh air an obair-phìos rè còmhdach falmhachaidh falamh, chan eil na dadaman meatailt an urra ach air teas a’ ghalachaidh rè falmhachadh, tha an teòthachd falmhachaidh 1000 ~ 2000 °C, agus tha an lùth a tha air a ghiùlan co-ionann ri 0.1 ~ 0.2 eV, agus mar sin tha lùth nam mìrean film ìosal, tha an fheachd ceangail eadar an t-sreath film agus am maitrís beag, agus tha e duilich còmhdach co-thàthaichte a chruthachadh.
5. Tha structar grinn aig an t-sreath còmhdach falmhachaidh falamh. Tha am pròiseas platadh falmhachaidh falamh air a chruthachadh fo fhalamh àrd, agus tha na gràineanan film anns a’ cheò gu bunaiteach air sgèile atamach, a’ cruthachadh cridhe grinn air uachdar a’ phìos obrach.
Àm puist: Ògmhios-14-2023

