Tha còmhdach sputtering magnetron air a dhèanamh ann an sgaoileadh gleansach, le dùmhlachd sruth sgaoilidh ìosal agus dùmhlachd plasma ìosal anns an t-seòmar còmhdach. Tha seo a’ ciallachadh gu bheil eas-bhuannachdan aig teicneòlas sputtering magnetron leithid feachd ceangail ìosal fo-strat film, ìre ianachaidh meatailt ìosal, agus ìre tasgadh ìosal. Anns an inneal còmhdach sputtering magnetron, tha inneal sgaoilidh arc air a chur ris, a dh’ fhaodas an sruth electron àrd-dùmhlachd anns a’ phlasma arc a chaidh a chruthachadh leis an sgaoileadh arc a chleachdadh gus am pìos obrach a ghlanadh, agus faodaidh e cuideachd pàirt a ghabhail ann an còmhdach agus tasgadh taiceil.
Cuir stòr cumhachd sgaoilidh bogha ris an inneal còmhdach sputtering magnetron, a dh’ fhaodadh a bhith na stòr bogha beag, stòr bogha planar ceart-cheàrnach, no stòr bogha catod siolandair. Faodaidh an t-sruthadh electron àrd-dùmhlachd a ghineas an stòr bogha catod na dreuchdan a leanas a chluich anns a’ phròiseas iomlan de chòmhdach sputtering magnetron:
1. Glan am pìos obrach. Mus cuir thu còmhdach air, tionndaidh air stòr arc catod, msaa., ianaich an gas le sruthadh electron arc, agus glan am pìos obrach le ianan argon lùth ìosal agus dùmhlachd àrd.
2. Tha stòr a’ bhogha agus an targaid smachd magnetach air an còmhdach ri chèile. Nuair a thèid an targaid sputtering magnetron le sgaoileadh deàrrsadh a ghnìomhachadh airson còmhdach, thèid stòr a’ bhogha catod a ghnìomhachadh cuideachd, agus tha an dà stòr còmhdach air an còmhdach aig an aon àm. Nuair a tha co-dhèanamh stuth targaid sputtering magnetron agus stuth targaid stòr a’ bhogha eadar-dhealaichte, faodar iomadh sreath de fhilm a phlàtadh, agus tha an sreath film a tha air a thasgadh leis an stòr bogha catod na eadar-fhilleadh anns an fhilm ioma-fhilleadh.
3. Bidh stòr arc catod a’ toirt seachad sruthadh electron àrd-dùmhlachd nuair a bhios e an sàs ann an còmhdach, ag àrdachadh coltachd bualadh le dadaman sreath film meatailt sputtered agus gasaichean ath-bhualadh, a’ leasachadh an ìre tasgaidh, ìre ianachaidh meatailt, agus a’ cluich pàirt ann a bhith a’ cuideachadh tasgadh.
Tha an stòr arc catod a tha air a rèiteachadh anns an inneal còmhdach sputtering magnetron a’ toirt a-steach stòr glanaidh, stòr còmhdach, agus stòr ianachaidh, a’ cluich pàirt mhath ann a bhith a’ leasachadh càileachd còmhdach sputtering magnetron le bhith a’ cleachdadh sruthadh electron arc ann am plasma arc.
Àm puist: 21 Ògmhios 2023