Magnetron-sputtercoating wurdt útfierd yn glânsûntlading, mei lege ûntladingsstroomtichtens en lege plasmatichtens yn 'e coatingkeamer. Dit makket magnetron-sputtertechnology neidielen lykas lege filmsubstraatbiningkrêft, lege metaalionisaasjesnelheid en lege ôfsettingssnelheid. Yn 'e magnetron-sputtercoatingmasine wurdt in bôge-ûntladingsapparaat tafoege, dat de hege-tichtens elektronstream yn it bôgeplasma kin brûke dy't generearre wurdt troch bôge-ûntlading om it wurkstik skjin te meitsjen, it kin ek meidwaan oan coating en helpôfsetting.
Foegje in bôge-ûntladingskrêftboarne ta yn 'e magnetron-sputtercoatingmasine, dy't in lytse bôgeboarne, in rjochthoekige planêre bôgeboarne of in silindryske katodebôgeboarne kin wêze. De hege-tichtens elektronstream dy't generearre wurdt troch de katodebôgeboarne kin de folgjende rollen spylje yn it heule proses fan magnetron-sputtercoating:
1. Meitsje it wurkstik skjin. Foardat jo it coaten oanbringe, skeakelje de katodebôgeboarne ensfh. yn, ionisearje it gas mei bôge-elektronenstream, en meitsje it wurkstik skjin mei argon-ionen mei lege enerzjy en hege tichtheid.
2. De bôgeboarne en it magnetyske kontrôledoel wurde tegearre bedekt. As it magnetron-sputterdoel mei glânsûntlading aktivearre wurdt foar it bedekken, wurdt de katodebôgeboarne ek aktivearre, en wurde beide coatingboarnen tagelyk bedekt. As de gearstalling fan it magnetron-sputterdoelmateriaal en it bôgeboarnedoelmateriaal oars is, kinne meardere lagen film platearre wurde, en de filmlaach dy't troch de katodebôgeboarne ôfset wurdt, is in tuskenlaach yn 'e mearlaachse film.
3. De katodebôgeboarne leveret in stream fan elektroanen mei hege tichtheid by it meidwaan oan it coaten, wêrtroch't de kâns op botsing mei de atomen en reaksjegassen fan 'e sputterde metaalfilmlaach tanimt, de ôfsettingssnelheid en metaalionisaasjesnelheid ferbetteret en in rol spilet by it befoarderjen fan ôfsetting.
De katodebôgeboarne dy't konfigurearre is yn 'e magnetron-sputtercoatingmasine yntegreart in reinigingsboarne, coatingboarne en ionisaasjeboarne, en spilet in positive rol by it ferbetterjen fan 'e kwaliteit fan' e magnetron-sputtercoating troch gebrûk te meitsjen fan 'e bôge-elektronenstream yn it bôgeplasma.
Pleatsingstiid: 21 juny 2023