1. ThetyhjiöhöyrystyspinnoitusProsessiin kuuluu kalvomateriaalien haihduttaminen, höyryatomien kuljetus korkeassa tyhjiössä sekä höyryatomien ydintyminen ja kasvu työkappaleen pinnalla.
2. Tyhjiöhaihdutuspinnoitteen laskeutumisaste on korkea, yleensä 10–510-3Pa. Kaasumolekyylien vapaa matka on suuruusluokkaa 1–10 m, mikä on paljon suurempi kuin etäisyys haihtumislähteestä työkappaleeseen. Tätä etäisyyttä kutsutaan haihtumismatkaksi ja se on yleensä 300–800 mm. Pinnoitehiukkaset eivät juurikaan törmää kaasumolekyyleihin ja höyryatomeihin, vaan saavuttavat työkappaleen.
3. Tyhjiöhöyrystyspinnoitekerros ei ole kierrepinnoitusta, ja höyryatomit kulkeutuvat suoraan työkappaleeseen korkeassa tyhjiössä. Vain työkappaleen haihdutuslähteeseen päin oleva puoli voi saada kalvokerroksen, ja työkappaleen sivu ja takaosa eivät juurikaan saa kalvokerrosta, ja kalvokerroksen pinnoitus on huono.
4. Tyhjiöhöyrystyspinnoitteen hiukkasten energia on alhainen, ja työkappaleeseen saapuva energia on haihtumisen mukana tulevaa lämpöenergiaa. Koska työkappaleeseen ei kohdistu esijännitettä tyhjiöhöyrystyspinnoituksen aikana, metalliatomit ovat haihtumisen aikana riippuvaisia vain höyrystymislämmöstä. Haihtumislämpötila on 1000–2000 °C ja mukana tuleva energia vastaa 0,1–0,2 eV:tä. Näin ollen kalvohiukkasten energia on alhainen, kalvokerroksen ja matriisin välinen sidosvoima on pieni ja yhdistelmäpinnoitteen muodostaminen on vaikeaa.
5. Tyhjiöhöyrystyspinnoituskerroksella on hienojakoinen rakenne. Tyhjiöhöyrystyspinnoitusprosessi muodostetaan korkeassa tyhjiössä, ja höyryssä olevat kalvohiukkaset ovat pohjimmiltaan atomikokoisia, muodostaen hienojakoisen ytimen työkappaleen pinnalle.
Julkaisun aika: 14. kesäkuuta 2023