1. Lavakua vaporiĝa tegaĵoLa procezo inkluzivas la vaporiĝon de filmmaterialoj, la transporton de vaporatomoj en alta vakuo, kaj la procezon de nukleado kaj kresko de vaporatomoj sur la surfaco de la laborpeco.
2. La grado de vakua deponado de vakua vaporiĝo-tegaĵo estas alta, ĝenerale 10-510-3Pa. La libera vojo de gasmolekuloj estas 1~10m grandordo, kio estas multe pli granda ol la distanco de la vaporiĝfonto ĝis la laborpeco, ĉi tiu distanco nomiĝas la vaporiĝdistanco, ĝenerale 300~800mm. La tegaĵpartikloj apenaŭ kolizias kun gasmolekuloj kaj vaporatomoj kaj atingas la laborpecon.
3. La vakua vaporiĝa tegaĵo ne estas volvita tegaĵo, kaj la vaporatomoj iras rekte al la laborpeco sub alta vakuo. Nur la flanko alfrontanta la vaporiĝan fonton sur la laborpeco povas akiri la filmtavolon, kaj la flanko kaj malantaŭo de la laborpeco apenaŭ povas akiri la filmtavolon, kaj la filmtavolo havas malbonan tegaĵon.
4. La energio de la partikloj de la vakua vaporiĝa tegaĵo estas malalta, kaj la energio atinganta la laborpecon estas la varmenergio portata de la vaporiĝo. Ĉar la laborpeco ne estas influita dum vakua vaporiĝa tegaĵo, la metalaj atomoj nur dependas de la varmo de vaporiĝo dum vaporiĝo, la vaporiĝa temperaturo estas 1000~2000 °C, kaj la portata energio estas ekvivalenta al 0.1~0.2 eV, do la energio de la filmpartikloj estas malalta, la ligforto inter la filmtavolo kaj la matrico estas malgranda, kaj estas malfacile formi kombinaĵan tegaĵon.
5. La vakua vaporiĝa tegaĵotavolo havas fajnan strukturon. La vakua vaporiĝa tegaĵprocezo estas formita sub alta vakuo, kaj la filmpartikloj en la vaporo estas baze atomskalaj, formante fajnan kernon sur la surfaco de la laborpeco.
Afiŝtempo: 14-a de junio 2023