Magnetrona ŝpructegado estas efektivigata en eferveska malŝarĝo, kun malalta malŝarĝa kurentdenseco kaj malalta plasmodenseco en la tegaĵa ĉambro. Ĉi tio kaŭzas malavantaĝojn de magnetrona ŝpructegado, kiel ekzemple malalta ligforto de filmsubstratoj, malalta metala joniga rapideco kaj malalta depona rapideco. En la magnetrona ŝpructegado, oni aldonas arkan malŝarĝan aparaton, kiu povas uzi la alt-densecan elektronfluon en la arka plasmo generita de la arka malŝarĝo por purigi la laborpecon. Ĝi ankaŭ povas partopreni en tegaĵo kaj helpa deponado.
Aldonu arkan malŝarĝan energifonton en la magnetrona ŝprucmaŝino, kiu povas esti malgranda arkfonto, rektangula ebena arkfonto, aŭ cilindra katoda arkfonto. La alt-denseca elektrona fluo generita de la katoda arkfonto povas ludi la jenajn rolojn en la tuta procezo de magnetrona ŝprucmaŝino:
1. Purigu la laborpecon. Antaŭ tegado, ŝaltu la katodan arkfonton, ktp., jonigu la gason per arka elektrona fluo, kaj purigu la laborpecon per malaltenergiaj kaj altdensecaj argonjonoj.
2. La arkfonto kaj la magneta kontrola celo estas tegitaj kune. Kiam la magnetrona ŝpruccelo kun ardomalŝargo estas aktivigita por tegi, la katoda arkfonto ankaŭ estas aktivigita, kaj ambaŭ tegifontoj estas samtempe tegitaj. Kiam la konsisto de la magnetrona ŝpruccela materialo kaj la celmaterialo de la arkfonto estas malsama, pluraj tavoloj de filmo povas esti tegitaj, kaj la filmotavolo deponita de la katoda arkfonto estas intertavolo en la plurtavola filmo.
3. La katoda arka fonto provizas alt-densecan elektronan fluon dum partoprenado en tegaĵo, pliigante la probablecon de kolizio kun la ŝprucitaj metalaj filmtavolatomoj kaj reakciaj gasoj, plibonigante la deponan rapidecon, metalan jonigan rapidecon, kaj ludante rolon en helpado de deponado.
La katoda arkfonto agordita en la magnetrona ŝpruc-tegaĵmaŝino integras purigan fonton, tegaĵfonton kaj jonigan fonton, ludante pozitivan rolon en plibonigado de la kvalito de magnetrona ŝpruc-tegaĵo per utiligado de la arka elektrona fluo en la arka plasmo.
Afiŝtempo: 21-a de junio 2023