1. Τοεπίστρωση εξάτμισης κενούΗ διαδικασία περιλαμβάνει την εξάτμιση των υλικών της μεμβράνης, τη μεταφορά ατόμων ατμού σε υψηλό κενό και τη διαδικασία πυρήνωσης και ανάπτυξης ατόμων ατμού στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.
2. Ο βαθμός κενού εναπόθεσης της επίστρωσης εξάτμισης κενού είναι υψηλός, γενικά 10-510-3Η ελεύθερη διαδρομή των μορίων αερίου είναι τάξη μεγέθους 1~10m, η οποία είναι πολύ μεγαλύτερη από την απόσταση από την πηγή εξάτμισης έως το τεμάχιο εργασίας. Αυτή η απόσταση ονομάζεται απόσταση εξάτμισης και γενικά είναι 300~800mm. Τα σωματίδια της επικάλυψης δύσκολα συγκρούονται με μόρια αερίου και άτομα ατμού και φτάνουν στο τεμάχιο εργασίας.
3. Το στρώμα επικάλυψης εξάτμισης κενού δεν είναι επικαλυμμένο με τυλίγματα και τα άτομα ατμού πηγαίνουν κατευθείαν στο τεμάχιο εργασίας υπό υψηλό κενό. Μόνο η πλευρά που βλέπει στην πηγή εξάτμισης στο τεμάχιο εργασίας μπορεί να λάβει το στρώμα μεμβράνης, και η πλευρά και το πίσω μέρος του τεμαχίου εργασίας δύσκολα μπορούν να φτάσουν το στρώμα μεμβράνης, και το στρώμα μεμβράνης έχει κακή επιμετάλλωση.
4. Η ενέργεια των σωματιδίων του στρώματος επικάλυψης εξάτμισης κενού είναι χαμηλή και η ενέργεια που φτάνει στο τεμάχιο εργασίας είναι η θερμική ενέργεια που μεταφέρεται από την εξάτμιση. Δεδομένου ότι το τεμάχιο εργασίας δεν πολώνεται κατά την επικάλυψη εξάτμισης κενού, τα άτομα μετάλλου βασίζονται μόνο στη θερμότητα εξάτμισης κατά την εξάτμιση, η θερμοκρασία εξάτμισης είναι 1000~2000 °C και η ενέργεια που μεταφέρεται είναι ισοδύναμη με 0,1~0,2eV, επομένως η ενέργεια των σωματιδίων της μεμβράνης είναι χαμηλή, η δύναμη σύνδεσης μεταξύ του στρώματος της μεμβράνης και της μήτρας είναι μικρή και είναι δύσκολο να σχηματιστεί μια σύνθετη επικάλυψη.
5. Το στρώμα επικάλυψης με εξάτμιση κενού έχει λεπτή δομή. Η διαδικασία επιμετάλλωσης με εξάτμιση κενού σχηματίζεται υπό υψηλό κενό και τα σωματίδια μεμβράνης στον ατμό είναι βασικά ατομικής κλίμακας, σχηματίζοντας έναν λεπτό πυρήνα στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας.
Ώρα δημοσίευσης: 14 Ιουνίου 2023