1) Zylindrische Targets haben eine höhere Auslastung als planare Targets. Im Beschichtungsprozess, egal ob es sich um ein rotierendes Magnettarget oder ein rotierendes zylindrisches Sputtertarget handelt, durchläuft die gesamte Oberfläche des Targetrohrs kontinuierlich den vor dem Permanentmagneten erzeugten Sputterbereich, um die Kathodenzerstäubung zu empfangen. Das Target kann gleichmäßig gesputtert und geätzt werden, was eine hohe Targetauslastung ermöglicht. Die Auslastung der Targetmaterialien liegt bei etwa 80–90 %.
2) Zylindrische Targets verursachen nicht so leicht eine „Targetvergiftung“. Während des Beschichtungsprozesses wird die Oberfläche des Targetrohrs ständig durch Ionen gesputtert und geätzt, wodurch sich nicht so leicht dicke Oxide und andere Isolierfilme auf der Oberfläche ansammeln und eine „Targetvergiftung“ vermieden wird.
3) Die Struktur des zylindrischen Sputtertargets vom Typ Rotationstargetrohr ist einfach und leicht zu installieren.
4) Das Material zylindrischer Targetrohre ist in verschiedenen Ausführungen erhältlich. Planare Targets werden direkt mit Wasser gekühlt, während zylindrische Targets, wie z. B. In2-SnO2-Targets usw., nicht mit Pulvermaterial durch heißisostatisches Pressen zu plattenförmigen Targets verarbeitet werden können, da diese nicht groß genug sind und spröde sind. Daher ist ein Lötverfahren und eine Kupferrückplatte erforderlich, um die Targetbasis zu integrieren und anschließend zu montieren. Neben Metallrohren können auch säulenförmige Targets auf die Oberfläche von Edelstahlrohren gesprüht werden, wobei verschiedene Beschichtungsmaterialien wie Si, Cr usw. verwendet werden müssen.
Derzeit nimmt der Anteil zylindrischer Targets für die Beschichtung in der industriellen Produktion zu. Zylindrische Targets werden nicht nur in vertikalen Beschichtungsanlagen, sondern auch in Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlagen eingesetzt. In den letzten Jahren wurden planare Doppeltargets schrittweise durch zylindrische Doppeltargets ersetzt.
——Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua Technology veröffentlicht, einemHersteller optischer Beschichtungsanlagen.
Veröffentlichungszeit: 11. Mai 2023