Technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon

Mewn gwirionedd, mae technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon yn dechnoleg gyfansawdd. Mae'n dechneg trin ïonau arwyneb cyfansawdd sy'n cyfuno mewnblannu ïonau a thechnoleg ffilm dyddodiad anwedd corfforol, a math newydd o dechneg optimeiddio arwyneb trawst ïonau. Yn ogystal â manteision dyddodiad anwedd corfforol, gall y dechneg hon dyfu unrhyw ffilm drwch yn barhaus o dan amodau rheoli mwy llym, gwella crisialedd a chyfeiriadedd yr haen ffilm yn fwy sylweddol, cynyddu cryfder adlyniad yr haen ffilm/swbstrad, gwella dwysedd yr haen ffilm, a syntheseiddio ffilmiau cyfansawdd â chymhareb stoichiometreg delfrydol ar dymheredd ystafell bron, gan gynnwys mathau newydd o ffilmiau na ellir eu cael ar dymheredd a phwysau ystafell. Nid yn unig y mae dyddodiad â chymorth trawst ïon yn cadw manteision y broses mewnblannu ïonau, ond gall hefyd orchuddio'r swbstrad â ffilm hollol wahanol i'r swbstrad.
Ym mhob math o ddyddodiad anwedd ffisegol a dyddodiad anwedd cemegol, gellir ychwanegu set o gynnau ïon bomio ategol i ffurfio system IBAD, ac mae dau broses IBAD cyffredinol fel a ganlyn, fel y dangosir yn y Llun:

Fel y dangosir yn Llun (a), defnyddir ffynhonnell anweddu trawst electron i arbelydru'r haen ffilm gyda'r trawst ïon sy'n cael ei allyrru o'r gwn ïon, gan wireddu dyddodiad â chymorth trawst ïon. Y fantais yw y gellir addasu egni a chyfeiriad y trawst ïon, ond dim ond un aloi neu gyfansoddyn cyfyngedig y gellir ei ddefnyddio fel y ffynhonnell anweddu, ac mae pob pwysedd anwedd o'r gydran aloi a'r cyfansoddyn yn wahanol, sy'n ei gwneud hi'n anodd cael haen ffilm o gyfansoddiad gwreiddiol y ffynhonnell anweddu.
Mae llun (b) yn dangos y dyddodiad â chymorth chwistrellu trawst ïonau, a elwir hefyd yn ddyddodiad chwistrellu trawst ïonau dwbl, lle mae'r targed wedi'i wneud o ddeunydd cotio chwistrellu trawst ïonau, a'r cynhyrchion chwistrellu yn cael eu defnyddio fel y ffynhonnell. Wrth ei ddyddodi ar y swbstrad, cyflawnir dyddodiad â chymorth chwistrellu trawst ïonau trwy arbelydru â ffynhonnell ïon arall. Mantais y dull hwn yw bod gan y gronynnau wedi'u chwistrellu eu hunain egni penodol, felly mae gwell glynu wrth y swbstrad; gellir cotio chwistrellu unrhyw gydran o'r targed, ond gellir ei chwistrellu adwaith i'r ffilm hefyd, sy'n hawdd addasu cyfansoddiad y ffilm, ond mae ei effeithlonrwydd dyddodiad yn isel, mae'r targed yn ddrud ac mae problemau fel chwistrellu detholus.