Mae cotio chwistrellu magnetron yn cael ei wneud mewn rhyddhau tywynnu, gyda dwysedd cerrynt rhyddhau isel a dwysedd plasma isel yn y siambr cotio. Mae hyn yn golygu bod gan dechnoleg chwistrellu magnetron anfanteision megis grym bondio swbstrad ffilm isel, cyfradd ïoneiddio metel isel, a chyfradd dyddodiad isel. Yn y peiriant cotio chwistrellu magnetron, ychwanegir dyfais rhyddhau arc, a all ddefnyddio'r llif electronau dwysedd uchel yn y plasma arc a gynhyrchir gan ryddhau arc i lanhau'r darn gwaith, a gall hefyd gymryd rhan mewn cotio a dyddodiad ategol.
Ychwanegwch ffynhonnell pŵer rhyddhau arc yn y peiriant cotio chwistrellu magnetron, a all fod yn ffynhonnell arc fach, ffynhonnell arc planar petryalog, neu ffynhonnell arc catod silindrog. Gall y llif electronau dwysedd uchel a gynhyrchir gan y ffynhonnell arc catod chwarae'r rolau canlynol yn y broses gyfan o orchuddio chwistrellu magnetron:
1. Glanhewch y darn gwaith. Cyn cotio, trowch y ffynhonnell arc catod ymlaen, ac ati, ïoneiddiwch y nwy gyda llif electronau arc, a glanhewch y darn gwaith gydag ïonau argon ynni isel a dwysedd uchel.
2. Mae ffynhonnell y bwa a tharged rheoli magnetig wedi'u gorchuddio gyda'i gilydd. Pan fydd targed chwistrellu'r magnetron gyda rhyddhau tywynnu yn cael ei actifadu ar gyfer gorchuddio, mae ffynhonnell y bwa catod hefyd yn cael ei actifadu, ac mae'r ddwy ffynhonnell gorchuddio yn cael eu gorchuddio ar yr un pryd. Pan fydd cyfansoddiad deunydd targed chwistrellu'r magnetron a deunydd targed y ffynhonnell bwa yn wahanol, gellir platio haenau lluosog o ffilm, ac mae'r haen ffilm a adneuwyd gan ffynhonnell y bwa catod yn rhynghaen yn y ffilm aml-haen.
3. Mae ffynhonnell arc y catod yn darparu llif electronau dwysedd uchel wrth gymryd rhan mewn cotio, gan gynyddu'r tebygolrwydd o wrthdrawiad ag atomau'r haen ffilm fetel wedi'i chwistrellu a nwyon adwaith, gan wella'r gyfradd dyddodiad, y gyfradd ïoneiddio metel, a chwarae rhan wrth gynorthwyo dyddodiad.
Mae'r ffynhonnell arc catod sydd wedi'i ffurfweddu yn y peiriant cotio chwistrellu magnetron yn integreiddio ffynhonnell lanhau, ffynhonnell cotio, a ffynhonnell ïoneiddio, gan chwarae rhan gadarnhaol wrth wella ansawdd y cotio chwistrellu magnetron trwy ddefnyddio llif electronau'r arc yn y plasma arc.
Amser postio: 21 Mehefin 2023