আয়ন বিম সহায়ক জমা প্রযুক্তি

প্রকৃতপক্ষে, আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রযুক্তি একটি কম্পোজিট প্রযুক্তি। এটি আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং ভৌত বাষ্প ডিপোজিশন ফিল্ম প্রযুক্তি এবং একটি নতুন ধরণের আয়ন বিম সারফেস অপ্টিমাইজেশন কৌশলের সমন্বয়ে একটি কম্পোজিট সারফেস আয়ন ট্রিটমেন্ট কৌশল। ভৌত বাষ্প ডিপোজিশনের সুবিধার পাশাপাশি, এই কৌশলটি আরও কঠোর নিয়ন্ত্রণ পরিস্থিতিতে যেকোনো পুরুত্বের ফিল্মকে ক্রমাগত বৃদ্ধি করতে পারে, ফিল্ম স্তরের স্ফটিকতা এবং অভিযোজনকে আরও উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করতে পারে, ফিল্ম স্তর/সাবস্ট্রেটের আনুগত্য শক্তি বৃদ্ধি করতে পারে, ফিল্ম স্তরের ঘনত্ব উন্নত করতে পারে এবং ঘরের তাপমাত্রার কাছাকাছি আদর্শ স্টোইচিওমেট্রিক অনুপাত সহ যৌগিক ফিল্মগুলিকে সংশ্লেষ করতে পারে, যার মধ্যে নতুন ধরণের ফিল্ম অন্তর্ভুক্ত রয়েছে যা ঘরের তাপমাত্রা এবং চাপে পাওয়া যায় না। আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন কেবল আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়ার সুবিধাগুলি ধরে রাখে না, বরং সাবস্ট্রেটকে সাবস্ট্রেট থেকে সম্পূর্ণ ভিন্ন ফিল্ম দিয়েও ঢেকে দিতে পারে।
সকল ধরণের ভৌত বাষ্প জমা এবং রাসায়নিক বাষ্প জমাতে, একটি IBAD সিস্টেম তৈরি করতে সহায়ক বোমাবর্ষণ আয়ন বন্দুকের একটি সেট যোগ করা যেতে পারে, এবং ছবিতে দেখানো হিসাবে দুটি সাধারণ IBAD প্রক্রিয়া নিম্নরূপ:

ছবি (ক) তে দেখানো হয়েছে, আয়ন বন্দুক থেকে নির্গত আয়ন রশ্মি দিয়ে ফিল্ম স্তরকে বিকিরণ করার জন্য একটি ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উৎস ব্যবহার করা হয়, যার ফলে আয়ন রশ্মি সহায়তায় জমা হয়। সুবিধা হল আয়ন রশ্মির শক্তি এবং দিক সামঞ্জস্য করা যেতে পারে, তবে শুধুমাত্র একটি একক বা সীমিত সংকর ধাতু, বা যৌগ বাষ্পীভবন উৎস হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে এবং সংকর উপাদান এবং যৌগের প্রতিটি বাষ্পের চাপ ভিন্ন, যা মূল বাষ্পীভবন উৎস রচনার ফিল্ম স্তর প্রাপ্ত করা কঠিন করে তোলে।
ছবি (খ) আয়ন বিম স্পুটারিং-সহায়তা জমা দেখায়, যা ডাবল আয়ন বিম স্পুটারিং জমা নামেও পরিচিত, যেখানে আয়ন বিম স্পুটারিং আবরণ উপাদান দিয়ে তৈরি লক্ষ্য, স্পুটারিং পণ্যগুলিকে উৎস হিসেবে ব্যবহার করা হয়। সাবস্ট্রেটে জমা করার সময়, আয়ন বিম স্পুটারিং সহায়তা জমা অন্য আয়ন উৎস দিয়ে বিকিরণ দ্বারা অর্জন করা হয়। এই পদ্ধতির সুবিধা হল যে স্পুটারড কণাগুলির নিজস্ব একটি নির্দিষ্ট শক্তি থাকে, তাই সাবস্ট্রেটের সাথে আরও ভাল আনুগত্য থাকে; লক্ষ্যের যেকোনো উপাদান স্পুটারড আবরণ হতে পারে, তবে ফিল্মে প্রতিক্রিয়া স্পুটারিংও হতে পারে, ফিল্মের গঠন সামঞ্জস্য করা সহজ, তবে এর জমার দক্ষতা কম, লক্ষ্য ব্যয়বহুল এবং নির্বাচনী স্পুটারিংয়ের মতো সমস্যা রয়েছে।