ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ গ্লো ডিসচার্জে করা হয়, যেখানে লেপ চেম্বারে কম ডিসচার্জ কারেন্ট ঘনত্ব এবং কম প্লাজমা ঘনত্ব থাকে। এর ফলে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং প্রযুক্তির অসুবিধাগুলি রয়েছে যেমন কম ফিল্ম সাবস্ট্রেট বন্ধন বল, কম ধাতব আয়নীকরণ হার এবং কম জমার হার। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ মেশিনে, একটি আর্ক ডিসচার্জ ডিভাইস যুক্ত করা হয়, যা আর্ক ডিসচার্জ দ্বারা উৎপন্ন আর্ক প্লাজমাতে উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ ব্যবহার করে ওয়ার্কপিস পরিষ্কার করতে পারে, এটি লেপ এবং সহায়ক জমাতেও অংশগ্রহণ করতে পারে।
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ মেশিনে একটি আর্ক ডিসচার্জ পাওয়ার সোর্স যোগ করুন, যা একটি ছোট আর্ক সোর্স, একটি আয়তক্ষেত্রাকার সমতল আর্ক সোর্স, অথবা একটি নলাকার ক্যাথোড আর্ক সোর্স হতে পারে। ক্যাথোড আর্ক সোর্স দ্বারা উৎপন্ন উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপের পুরো প্রক্রিয়ায় নিম্নলিখিত ভূমিকা পালন করতে পারে:
১. ওয়ার্কপিস পরিষ্কার করুন। লেপের আগে, ক্যাথোড আর্ক সোর্স ইত্যাদি চালু করুন, আর্ক ইলেকট্রন প্রবাহের মাধ্যমে গ্যাসকে আয়নাইজ করুন এবং কম শক্তি এবং উচ্চ ঘনত্বের আর্গন আয়ন দিয়ে ওয়ার্কপিস পরিষ্কার করুন।
2. আর্ক সোর্স এবং ম্যাগনেটিক কন্ট্রোল টার্গেট একসাথে লেপা থাকে। যখন গ্লো ডিসচার্জ সহ ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং টার্গেট আবরণের জন্য সক্রিয় করা হয়, তখন ক্যাথোড আর্ক সোর্সও সক্রিয় হয় এবং উভয় আবরণ উৎস একই সাথে লেপা হয়। যখন ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং টার্গেট উপাদান এবং আর্ক সোর্স টার্গেট উপাদানের গঠন ভিন্ন হয়, তখন ফিল্মের একাধিক স্তর প্রলেপ দেওয়া যেতে পারে এবং ক্যাথোড আর্ক সোর্স দ্বারা জমা হওয়া ফিল্ম স্তরটি মাল্টি-লেয়ার ফিল্মের একটি ইন্টারলেয়ার।
৩. ক্যাথোড আর্ক উৎস আবরণে অংশগ্রহণের সময় উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ প্রদান করে, স্পুটারড ধাতব ফিল্ম স্তরের পরমাণু এবং বিক্রিয়া গ্যাসের সাথে সংঘর্ষের সম্ভাবনা বৃদ্ধি করে, জমার হার, ধাতু আয়নীকরণ হার উন্নত করে এবং জমাতে সহায়তা করার ভূমিকা পালন করে।
ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ মেশিনে কনফিগার করা ক্যাথোড আর্ক সোর্স একটি পরিষ্কারের উৎস, আবরণের উৎস এবং আয়নীকরণ উৎসকে একীভূত করে, যা আর্ক প্লাজমাতে আর্ক ইলেকট্রন প্রবাহ ব্যবহার করে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপের মান উন্নত করতে ইতিবাচক ভূমিকা পালন করে।
পোস্টের সময়: জুন-২১-২০২৩