Фактычна, тэхналогія іённа-прамянёвага нанясення з'яўляецца кампазітнай тэхналогіяй. Гэта тэхніка апрацоўкі паверхні іонамі, якая спалучае ў сабе тэхналогію іённай імплантацыі і фізічнага нанясення плёнкі з паравой фазы, а таксама новы тып тэхнікі аптымізацыі паверхні іённа-прамянёвым нанясеннем. Акрамя пераваг фізічнага нанясення з паравой фазы, гэтая тэхніка дазваляе бесперапынна вырошчваць плёнку любой таўшчыні пры больш строгіх кантраляваных умовах, значна паляпшаць крышталічнасць і арыентацыю плёнкавага пласта, павялічваць трываласць адгезіі плёнкавага пласта/падкладкі, паляпшаць шчыльнасць плёнкавага пласта і сінтэзаваць складаныя плёнкі з ідэальнымі стехіаметрычнымі суадносінамі пры тэмпературы, блізкай да пакаёвай, у тым ліку новыя тыпы плёнак, якія немагчыма атрымаць пры пакаёвай тэмпературы і ціску. Іённа-прамянёвае нанясенне не толькі захоўвае перавагі працэсу іённай імплантацыі, але і можа пакрываць падкладку цалкам адрознай ад падкладкі плёнкай.
Пры ўсіх відах фізічнага і хімічнага асаджэння з паравой фазы можна дадаць набор дапаможных бамбардзіровачных іённых гармат для стварэння сістэмы IBAD, і існуюць два агульныя працэсы IBAD, як паказана на малюнку:
Як паказана на мал. (а), для апраменьвання плёнкавага пласта іённым пучком, які выпраменьваецца іённай гарматай, выкарыстоўваецца крыніца электронна-прамянёвага выпарэння, што дазваляе дасягнуць асаджэння з дапамогай іённа-прамянёвага выпарэння. Перавага заключаецца ў тым, што энергію і кірунак іённага пучка можна рэгуляваць, але ў якасці крыніцы выпарэння можна выкарыстоўваць толькі адзін або абмежаваны сплаў або злучэнне, і ціск пары кожнага кампанента сплаву і злучэння адрозніваецца, што ўскладняе атрыманне плёнкавага пласта зыходнага складу крыніцы выпарэння.
На малюнку (b) паказана асаджэнне з дапамогай іённа-прамянёвага распылення, таксама вядомае як асаджэнне падвойным іённа-прамянёвым распыленнем, пры якім мішэнь выраблена з матэрыялу пакрыцця, атрыманага іённа-прамянёвым распыленнем, а прадукты распылення выкарыстоўваюцца ў якасці крыніцы. Пры нанясенні на падкладку асаджэнне з дапамогай іённа-прамянёвага распылення дасягаецца шляхам апрамянення іншай крыніцай іонаў. Перавага гэтага метаду заключаецца ў тым, што самі распыленыя часціцы маюць пэўную энергію, таму яны лепш счапляюцца з падкладкай; любы кампанент мішэні можа быць распылены, а таксама можа быць рэакцыйна распылены ў плёнку, што лёгка рэгулюе склад плёнкі, але эфектыўнасць нанясення нізкая, мішэнь дарагая, і існуюць праблемы, такія як селектыўнае распыленне.
Час публікацыі: 08 лістапада 2022 г.