1. الطلاء التبخير الفراغيتتضمن العملية تبخر مواد الفيلم، ونقل ذرات البخار في الفراغ العالي، وعملية تكوين النواة ونمو ذرات البخار على سطح قطعة العمل.
2. درجة فراغ الترسيب لطلاء التبخر الفراغي عالية، وعادة ما تكون 10-510-3يتراوح المسار الحر لجزيئات الغاز بين 1 و10 أمتار، وهو أكبر بكثير من المسافة بين مصدر التبخر وقطعة العمل، وتُسمى هذه المسافة "مسافة التبخر"، وتتراوح عادةً بين 300 و800 مم. نادرًا ما تصطدم جزيئات الطلاء بجزيئات الغاز وذرات البخار، وتصل إلى قطعة العمل.
٣. طبقة طلاء التبخير الفراغي ليست طلاءً ملفوفًا، وتتجه ذرات البخار مباشرةً إلى قطعة العمل تحت ضغط عالٍ. لا يمكن الحصول على طبقة الفيلم إلا من الجانب المواجه لمصدر التبخير على قطعة العمل، بينما يصعب الحصول على طبقة الفيلم من الجانبين والخلف، كما أن طلاء طبقة الفيلم رديء.
٤. طاقة جسيمات طبقة طلاء التبخير الفراغي منخفضة، والطاقة الواصلة إلى قطعة العمل هي الطاقة الحرارية الناتجة عن التبخير. ولأن قطعة العمل غير متحيزة أثناء طلاء التبخير الفراغي، فإن ذرات المعدن تعتمد فقط على حرارة التبخير أثناء التبخير. تتراوح درجة حرارة التبخير بين ١٠٠٠ و ٢٠٠٠ درجة مئوية، وتعادل الطاقة المنقولة ٠.١ إلى ٠.٢ إلكترون فولت، لذا فإن طاقة جسيمات الغشاء منخفضة، وقوة الترابط بين طبقة الغشاء والمصفوفة صغيرة، مما يُصعّب تكوين طلاء مركب.
٥. تتميز طبقة طلاء التبخير الفراغي ببنية دقيقة. تُصنع هذه الطبقة تحت فراغ عالٍ، وتكون جزيئات الفيلم في البخار ذرية الحجم، مما يُشكل نواة دقيقة على سطح قطعة العمل.
وقت النشر: ١٤ يونيو ٢٠٢٣