يُجرى طلاء الرش المغنطروني في غرفة الطلاء بالتفريغ المتوهج، مع انخفاض كثافة تيار التفريغ وكثافة البلازما. هذا يجعل تقنية الرش المغنطروني تعاني من عيوب، مثل انخفاض قوة ربط ركيزة الفيلم، وانخفاض معدل تأين المعدن، وانخفاض معدل الترسيب. في آلة طلاء الرش المغنطروني، يُضاف جهاز تفريغ قوسي، والذي يستخدم تدفق الإلكترونات عالي الكثافة في بلازما القوس الناتجة عن التفريغ القوسي لتنظيف قطعة العمل، كما يُمكنه المشاركة في الطلاء والترسيب المساعد.
أضف مصدر طاقة تفريغ قوسي إلى آلة طلاء الرش المغناطيسي، والذي يمكن أن يكون مصدر قوس صغير، أو مصدر قوس مستوٍ مستطيل، أو مصدر قوس كاثود أسطواني. يؤدي تدفق الإلكترونات عالي الكثافة الناتج عن مصدر قوس الكاثود الأدوار التالية في عملية طلاء الرش المغناطيسي بأكملها:
١. نظّف قطعة العمل. قبل الطلاء، شغّل مصدر قوس الكاثود، وما إلى ذلك، ثمّ تأين الغاز بتدفق الإلكترونات القوسية، ونظّف قطعة العمل بأيونات الأرجون منخفضة الطاقة وعالية الكثافة.
٢. يُطلى مصدر القوس وهدف التحكم المغناطيسي معًا. عند تفعيل هدف الرش المغنطروني المزود بتفريغ توهجي للطلاء، يُفعّل مصدر قوس الكاثود أيضًا، ويُطلى كلا مصدري الطلاء في آنٍ واحد. عند اختلاف تركيب مادة هدف الرش المغنطروني عن مادة هدف مصدر القوس، يُمكن طلاء طبقات متعددة من الغشاء، وتكون طبقة الغشاء المُرسبة بواسطة مصدر قوس الكاثود طبقة بينية في الغشاء متعدد الطبقات.
3. يوفر مصدر قوس الكاثود تدفقًا عالي الكثافة للإلكترونات عند المشاركة في الطلاء، مما يزيد من احتمال الاصطدام بذرات طبقة الفيلم المعدني المتناثر وغازات التفاعل، مما يحسن معدل الترسيب ومعدل تأين المعدن، ويلعب دورًا في مساعدة الترسيب.
يدمج مصدر قوس الكاثود الموجود في آلة طلاء الرش المغناطيسي مصدر التنظيف ومصدر الطلاء ومصدر التأين، ويلعب دورًا إيجابيًا في تحسين جودة طلاء الرش المغناطيسي من خلال الاستفادة من تدفق الإلكترونات القوسية في بلازما القوس.
وقت النشر: ٢١ يونيو ٢٠٢٣