(4) Ohun elo ibi-afẹde. Ohun elo ibi-afẹde jẹ bọtini si ibora sputtering, ni gbogbogbo, niwọn igba ti ohun elo ibi-afẹde ba pade awọn ibeere, ati iṣakoso to muna ti awọn ilana ilana le nilo lati gba Layer fiimu naa. Awọn idoti ninu awọn ohun elo ibi-afẹde ati awọn oxides dada ati awọn ohun elo alaimọ miiran jẹ orisun pataki ti idoti fiimu, nitorinaa lati le gba ipele mimọ ti o ga, ni afikun si lilo awọn ohun elo ibi-afẹde giga, ni sputtering kọọkan yẹ ki o jẹ ibi-afẹde akọkọ fun iṣaju-sputtering lati le nu dada ti ibi-afẹde, lati yọ ibi-afẹde ti Layer oxide kuro.
(5) Igbale abẹlẹ. Ipele ti igbale abẹlẹ taara ṣe afihan iye gaasi aloku ninu eto, ati gaasi aloku tun jẹ orisun pataki ti idoti ti Layer fiimu, nitorinaa igbale lẹhin yẹ ki o ni ilọsiwaju bi o ti ṣee. Lori idoti ti iṣoro miiran ni fifa fifa epo pada si epo, Abajade ni doping erogba ninu awo ilu, awọn ibeere ti o lagbara diẹ sii ti awo ilu yẹ ki o gba awọn igbese ti o yẹ tabi lilo eto fifa-giga ti ko ni epo.
(6) sputtering air titẹ. Titẹ afẹfẹ ti n ṣiṣẹ taara ni ipa lori oṣuwọn ifisilẹ ti awo ilu.
Ni afikun, nitori awọn oriṣiriṣi sputtering awọn ẹrọ ni awọn ina oko, bugbamu, afojusun ohun elo, sobusitireti otutu ati jiometirika be ti awọn sile ti awọn ibaraenisepo laarin awọn awo ilu lati gbe awọn ibeere, o jẹ pataki lati se adanwo lori awọn sile ti awọn ilana, lati eyi ti awọn ti o dara ju ilana awọn ipo.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-05-2024