1) Awọn ibi-afẹde cylindrical ni iwọn lilo ti o ga ju awọn ibi-afẹde ero. Ni awọn ti a bo ilana, boya o jẹ a Rotari oofa iru tabi a Rotari tube iru iyipo sputtering afojusun, gbogbo awọn ẹya ara ti awọn dada ti awọn afojusun tube continuously ṣe nipasẹ awọn sputtering agbegbe ti ipilẹṣẹ ni iwaju ti awọn yẹ oofa lati gba cathode sputtering, ati awọn afojusun le ti wa ni iṣọkan sputtered etched, ati awọn afojusun lilo oṣuwọn jẹ ga. Iwọn lilo ti awọn ohun elo ibi-afẹde jẹ nipa 80% ~ 90%.
2) Awọn ibi-afẹde cylindrical kii yoo rọrun lati gbejade “oloro ibi-afẹde”. Lakoko ilana ti a bo, oju ti tube ibi-afẹde nigbagbogbo ni itọ ati itọ nipasẹ awọn ions, ati pe ko rọrun lati ṣajọpọ awọn oxides ti o nipọn ati awọn fiimu idabobo miiran lori dada, ati pe ko rọrun lati gbejade “majele ibi-afẹde”.
3) Awọn be ti awọn Rotari afojusun tube iru cylindrical sputtering afojusun jẹ rọrun ati ki o rọrun lati fi sori ẹrọ.
4) Awọn ohun elo tube afojusun iyipo ni orisirisi awọn iru. planar afojusun pẹlu irin afojusun taara omi itutu, ati diẹ ninu awọn ko le wa ni ilọsiwaju ati akoso iyipo afojusun, gẹgẹ bi awọn In2-SnO2 afojusun, bbl pẹlu lulú ohun elo fun gbona isostatic titẹ lati gba awo-bi afojusun, nitori awọn iwọn ko le ṣe tobi, ati brittle, ki o jẹ pataki lati lo brazing ọna ati Ejò backplate lati ṣepọ ati ki o si fi sori ẹrọ lori awọn afojusun mimọ. Ni afikun si awọn paipu irin, awọn ibi-afẹde columnar tun le fun sokiri lori oju awọn paipu irin alagbara irin pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo ti o nilo lati bo, bii Si, Cr, ati bẹbẹ lọ.
Ni lọwọlọwọ, ipin ti awọn ibi-afẹde iyipo fun ibora ni iṣelọpọ ile-iṣẹ n pọ si. Awọn ibi-afẹde silindrical kii ṣe lilo nikan fun ẹrọ ti a bo inaro ṣugbọn tun lo ninu yipo lati yipo ẹrọ ti a bo. Ni awọn ọdun aipẹ, awọn ibi-afẹde ibeji planar ti rọpo ni diėdiẹ nipasẹ awọn ibi-afẹde ibeji Cylindrical.
——Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ imọ-ẹrọ Guangdong Zhenhua, aolupese ti opitika ti a bo ero.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-11-2023