(4) ציל מאַטעריאַל. ציל מאַטעריאַל איז דער שליסל צו ספּאַטערינג קאָוטינג, אין אַלגעמיין, ווי לאַנג ווי די ציל מאַטעריאַל טרעפט די באדערפענישן, און שטרענג קאָנטראָל פון די פּראָצעס פּאַראַמעטערס קען זיין פארלאנגט צו באַקומען די פילם שיכט. ימפּיוראַטיז אין די ציל מאַטעריאַל און ייבערפלאַך אָקסיידז און אנדערע ומריינע סאַבסטאַנסיז זענען אַ וויכטיק מקור פון פילם קאַנטאַמאַניישאַן, אַזוי כּדי צו באַקומען אַ הויך ריינקייַט שיכט, אין אַדישאַן צו די נוצן פון הויך ריינקייַט ציל מאַטעריאַל, אין יעדער ספּאַטערינג זאָל זיין די ערשטע ציל פֿאַר פאַר-ספּאַטערינג צו רייניקן די ייבערפלאַך פון די ציל, צו באַזייַטיקן די ציל ייבערפלאַך פון די אָקסייד שיכט.
(5) הינטערגרונט וואַקוום. דער מדרגה פון הינטערגרונט וואַקוום שפּיגלט גלייך אָפּ די מאָס פון רעשט גאַז אין דער סיסטעם, און רעשט גאַז איז אויך אַ וויכטיקע מקור פון קאַנטאַמאַניישאַן פון דער פילם שיכט, אַזוי דער הינטערגרונט וואַקוום זאָל ווערן פֿאַרבעסערט ווי פיל ווי מעגלעך. וועגן דער פאַרפּעסטיקונג, נאָך אַ פּראָבלעם איז די דיפיוזשאַן פּאָמפּע פון די אויל צוריק צום אויל, וואָס רעזולטירט אין קאַרבאָן דאָפּינג אין דער מעמבראַנע. די שטרענגערע רעקווירעמענץ פון דער מעמבראַנע זאָלן נעמען צונעמען מיטלען אָדער נוצן אַן אויל-פֿרייַ הויך-וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם.
(6) שפּריצן לופט דרוק. דער אַרבעט לופט דרוק ווירקט גלייך אויף די דעפּאָזיציע קורס פון דער מעמבראַנע.
דערצו, צוליב די פארשידענע שפּאַטערינג דעוויסעס אין דעם עלעקטרישן פעלד, אַטמאָספער, ציל מאַטעריאַל, סאַבסטראַט טעמפּעראַטור און דזשיאַמעטריק סטרוקטור פון די פּאַראַמעטערס פון דער ינטעראַקשאַן צווישן די מעמבראַנע צו פּראָדוצירן די באדערפענישן, איז עס נייטיק צו טאָן עקספּערימענטן אויף די פּאַראַמעטערס פון דעם פּראָצעס, פון וועלכע די בעסטע פּראָצעס באדינגונגען.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: יאַנואַר-05-2024