(4) Izinto ekujoliswe kuzo. Izinto ekujoliswe kuzo isitshixo sputtering ukutyabeka, ngokubanzi, okoko nje izinto ekujoliswe ukuhlangabezana neemfuno, kunye nolawulo olungqongqo iiparamitha inkqubo kunokufuneka ukuba ufumane umaleko ifilimu. Ukungcola kwizinto ezijoliswe kuzo kunye ne-oxides yomhlaba kunye nezinye izinto ezingcolileyo zingumthombo obalulekileyo wokungcoliswa kwefilimu, ngoko ke ukuze ufumane i-high purity layer, ngaphezu kokusetyenziswa kwezinto ezijoliswe kuzo ezihlambulukileyo, kwi-sputtering nganye kufuneka ibe yinto ekujoliswe kuyo yokuqala yokutshiza kwangaphambili ukuze kuhlanjululwe indawo ekujoliswe kuyo, ukususa indawo ekujoliswe kuyo ye-oxide layer.
(5) Isingxobo esingasemva. Inqanaba le-vacuum yangasemva libonisa ngokuthe ngqo ubungakanani begesi eshiyekileyo kwinkqubo, kwaye irhasi eshiyekileyo ikwangumthombo obalulekileyo wokungcoliseka komgangatho wefilimu, ngoko ke i-vacuum yangasemva kufuneka iphuculwe kangangoko kunokwenzeka. Kwimeko yongcoliseko yenye ingxaki yimpompo yokusasazwa kweoyile ibuyela kwioyile, nto leyo ekhokelela kwi-carbon doping kwi-membrane, iimfuno ezingqongqo zenwebu kufuneka zithathe amanyathelo afanelekileyo okanye ukusetyenziswa kwenkqubo yokumpompa i-oyile engenawoli.
(6) ukutshiza umoya. Uxinzelelo lomoya osebenzayo luchaphazela ngokuthe ngqo izinga lokubeka i-membrane.
Ukongeza, ngenxa izixhobo ezahlukeneyo sputtering entsimini yombane, umoya, izinto ekujoliswe, ubushushu substrate kunye nesakhiwo zejometri iiparamitha intsebenziswano phakathi inwebu ukuvelisa iimfuno, kuyimfuneko ukwenza imifuniselo kwi parameters inkqubo, ukusuka apho iimeko inkqubo best.
–Eli nqaku likhutshwa nguumenzi womatshini wokugqumaGuangdong Zhenhua
Ixesha lokuposa: Jan-05-2024