(4) Vật liệu mục tiêu. Vật liệu mục tiêu là chìa khóa để phủ phun, nói chung, miễn là vật liệu mục tiêu đáp ứng các yêu cầu và kiểm soát chặt chẽ các thông số quy trình có thể được yêu cầu để có được lớp màng. Các tạp chất trong vật liệu mục tiêu và oxit bề mặt và các chất không tinh khiết khác là nguồn gây ô nhiễm màng quan trọng, vì vậy để có được lớp có độ tinh khiết cao, ngoài việc sử dụng vật liệu mục tiêu có độ tinh khiết cao, trong mỗi lần phun, mục tiêu đầu tiên phải được phun trước để làm sạch bề mặt của mục tiêu, để loại bỏ lớp oxit trên bề mặt mục tiêu.
(5) Chân không nền. Mức độ chân không nền phản ánh trực tiếp lượng khí dư trong hệ thống, khí dư cũng là nguồn ô nhiễm quan trọng của lớp màng, do đó chân không nền cần được cải thiện càng nhiều càng tốt. Về vấn đề ô nhiễm khác là bơm khuếch tán dầu trở lại dầu, dẫn đến việc pha tạp carbon trong màng, các yêu cầu nghiêm ngặt hơn của màng nên thực hiện các biện pháp thích hợp hoặc sử dụng hệ thống bơm chân không cao không dầu.
(6) áp suất không khí phun. Áp suất không khí làm việc ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ lắng đọng của màng.
Ngoài ra, do các thiết bị phun khác nhau về điện trường, khí quyển, vật liệu mục tiêu, nhiệt độ đế và cấu trúc hình học của các thông số tương tác giữa màng để tạo ra các yêu cầu, cần phải thực hiện các thí nghiệm về các thông số của quá trình, từ đó tìm ra điều kiện quá trình tốt nhất.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 05-01-2024