1) Mục tiêu hình trụ có tỷ lệ sử dụng cao hơn mục tiêu phẳng. Trong quá trình phủ, cho dù là mục tiêu phun hình trụ loại từ quay hay loại ống quay, tất cả các bộ phận của bề mặt ống mục tiêu đều liên tục đi qua vùng phun được tạo ra trước nam châm vĩnh cửu để tiếp nhận phun catốt, và mục tiêu có thể được khắc phun đồng đều, và tỷ lệ sử dụng mục tiêu cao. Tỷ lệ sử dụng vật liệu mục tiêu là khoảng 80% ~ 90%.
2) Mục tiêu hình trụ sẽ không dễ dàng tạo ra “ngộ độc mục tiêu”. Trong quá trình phủ, bề mặt của ống mục tiêu luôn được phun và khắc bằng ion, và không dễ tích tụ oxit dày và các màng cách điện khác trên bề mặt, và không dễ tạo ra “ngộ độc mục tiêu”.
3) Cấu trúc của ống mục tiêu quay dạng ống mục tiêu phun hình trụ đơn giản và dễ lắp đặt.
4) Vật liệu ống mục tiêu hình trụ có nhiều loại. mục tiêu phẳng với mục tiêu kim loại làm mát trực tiếp bằng nước, và một số không thể xử lý và tạo thành mục tiêu hình trụ, chẳng hạn như mục tiêu In2-SnO2, v.v. với vật liệu bột để ép đẳng tĩnh nóng để thu được mục tiêu dạng tấm, vì kích thước không thể làm lớn và giòn, vì vậy cần sử dụng phương pháp hàn và tấm đồng để tích hợp và sau đó lắp vào đế mục tiêu. Ngoài ống kim loại, mục tiêu hình cột cũng có thể được phun trên bề mặt ống thép không gỉ bằng nhiều vật liệu cần phủ, chẳng hạn như Si, Cr, v.v.
Hiện nay, tỷ lệ mục tiêu hình trụ để phủ trong sản xuất công nghiệp đang tăng lên. Mục tiêu hình trụ không chỉ sử dụng cho máy phủ đứng mà còn sử dụng trong máy phủ cuộn. Trong những năm gần đây, mục tiêu đôi phẳng dần được thay thế bằng mục tiêu đôi hình trụ.
——Bài viết này được phát hành bởi Guangdong Zhenhua Technology, mộtnhà sản xuất máy phủ quang học.
Thời gian đăng: 11-05-2023