1) Циліндричні мішені мають вищий коефіцієнт використання, ніж планарні. У процесі нанесення покриття, незалежно від того, чи це роторна магнітна мішень, чи роторна трубчаста циліндрична мішень для розпилення, всі частини поверхні трубчастої мішені безперервно проходять через зону розпилення, що утворюється перед постійним магнітом, для отримання катодного розпилення, і мішень може бути рівномірно розпилена та протравлена, а коефіцієнт використання мішені є високим. Коефіцієнт використання матеріалів мішені становить приблизно 80%~90%.
2) Циліндричні мішені нелегко викликати «отруєння мішені». Під час процесу нанесення покриття поверхня трубки-мішені завжди розпилюється та травиться іонами, і на поверхні нелегко накопичуватися товсті оксиди та інші ізоляційні плівки, а також нелегко викликати «отруєння мішені».
3) Конструкція циліндричної мішені для розпилення з обертовою трубкою проста та легко встановлюється.
4) Матеріал циліндричної трубки-мішені має різні типи. Плоска мішень з металевою мішенню, що безпосередньо охолоджується водою, а деякі мішені не можна обробляти та формувати циліндричні мішені, такі як мішень In2-SnO2 тощо, з порошковим матеріалом для гарячого ізостатичного пресування для отримання пластинчастих мішеней, оскільки розмір не може бути великим та крихким, тому необхідно використовувати метод пайки та мідну опорну пластину для інтеграції та встановлення на основу мішені. Окрім металевих труб, стовпчасті мішені також можуть бути нанесені на поверхню труб з нержавіючої сталі з різними матеріалами, які потребують покриття, такими як Si, Cr тощо.
Наразі частка циліндричних мішеней для покриття у промисловому виробництві зростає. Циліндричні мішені використовуються не лише для вертикальних машин для покриття, але й для рулонних машин для покриття. В останні роки плоскі подвійні мішені поступово замінюються циліндричними подвійними мішенями.
——Цю статтю опублікувала компанія Guangdong Zhenhua Technology,виробник машин для оптичного покриття.
Час публікації: 11 травня 2023 р.