4) Максатлы материал. Максатлы материал - каплау каплавы ачкычы, гомумән алганда, максат материалы таләпләргә туры килгәндә, һәм кино катламын алу өчен процесс параметрларын катгый контрольдә тоту таләп ителә. Максатлы материалдагы пычраклыклар, өслек оксидлары һәм башка пычрак матдәләр - кино пычрануның мөһим чыганагы, шуңа күрә югары чисталык катламы алу өчен, югары чисталык максатлы материал куллануга өстәп, һәрбер бөтерелү максатның өслеген чистарту, оксид катламының максат өслеген бетерү өчен беренче максат булырга тиеш.
(5) Фон вакуум. Фон вакуум дәрәҗәсе системада калдык газ күләмен турыдан-туры чагылдыра, һәм калдык газ шулай ук кино катламын пычратуның мөһим чыганагы, шуңа күрә фон вакуумны мөмкин кадәр яхшыртырга кирәк. Тагын бер проблеманы пычрату - нефтьне диффузияләү насосы, ул мембранада углерод допингына китерә, мембрананың катгый таләпләре тиешле чаралар күрергә яки нефтьсез югары вакуум насос системасын кулланырга тиеш.
(6) һава басымы. Эшләүче һава басымы мембрананың чүпләнү тизлегенә турыдан-туры тәэсир итә.
Моннан тыш, электр кырында, атмосферада, максатлы материалда, субстрат температурада һәм мембрана арасындагы үзара бәйләнеш параметрларының геометрик структурасында таләпләр тудыру өчен, процесс параметрлары буенча экспериментлар ясарга кирәк, алардан иң яхшы процесс шартлары.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 05-2024 гыйнвар