1) Silindirik hedefler, düzlemsel hedeflere göre daha yüksek kullanım oranına sahiptir. Kaplama işleminde, döner manyetik tip veya döner tüp tipi silindirik püskürtme hedefi olsun, hedef tüpünün yüzeyinin tüm parçaları, katot püskürtme almak için kalıcı mıknatısın önünde oluşturulan püskürtme alanından sürekli olarak geçer ve hedef düzgün bir şekilde püskürtülebilir ve aşındırılabilir ve hedef kullanım oranı yüksektir. Hedef malzemelerin kullanım oranı yaklaşık %80~%90'dır.
2) Silindirik hedefler "hedef zehirlenmesi" üretmek için kolay olmayacaktır. Kaplama işlemi sırasında, hedef tüpünün yüzeyi her zaman iyonlar tarafından püskürtülür ve aşındırılır ve yüzeyde kalın oksitler ve diğer yalıtım filmlerinin birikmesi kolay değildir ve "hedef zehirlenmesi" üretmek kolay değildir.
3) Döner hedef tüp tipi silindirik püskürtme hedefi yapısı basit ve montajı kolaydır.
4) Silindirik hedef tüp malzemesi çeşitli tiplere sahiptir. Metal hedefli düzlemsel hedef doğrudan su soğutmalı ve bazıları işlenemez ve şekillendirilemez silindirik hedefler, örneğin In2-SnO2 hedef vb. Sıcak izostatik presleme için toz malzeme ile plaka benzeri hedefler elde etmek için, çünkü boyut büyük ve kırılgan yapılamaz, bu nedenle lehimleme yöntemi ve bakır arka plaka kullanmak ve ardından hedef tabanına entegre etmek ve takmak gerekir. Metal borulara ek olarak, sütunlu hedefler de Si, Cr vb. gibi kaplanması gereken çeşitli malzemelerle paslanmaz çelik boruların yüzeyine püskürtülebilir.
Günümüzde endüstriyel üretimde kaplama için silindirik hedeflerin oranı artmaktadır. Silindirik hedefler yalnızca dikey kaplama makinesinde değil aynı zamanda rulodan ruloya kaplama makinesinde de kullanılır. Son yıllarda, düzlemsel ikiz hedefler kademeli olarak Silindirik ikiz hedeflerle değiştirilmektedir.
——Bu makale Guangdong Zhenhua Technology tarafından yayınlanmıştır.optik kaplama makineleri üreticisi.
Yayınlanma zamanı: 11-Mayıs-2023