1) స్థూపాకార లక్ష్యాలు ప్లానార్ లక్ష్యాల కంటే ఎక్కువ వినియోగ రేటును కలిగి ఉంటాయి. పూత ప్రక్రియలో, అది రోటరీ మాగ్నెటిక్ రకం అయినా లేదా రోటరీ ట్యూబ్ రకం స్థూపాకార స్పట్టరింగ్ లక్ష్యం అయినా, టార్గెట్ ట్యూబ్ యొక్క ఉపరితలం యొక్క అన్ని భాగాలు కాథోడ్ స్పట్టరింగ్ను స్వీకరించడానికి శాశ్వత అయస్కాంతం ముందు ఉత్పత్తి చేయబడిన స్పట్టరింగ్ ప్రాంతం గుండా నిరంతరం వెళతాయి మరియు లక్ష్యాన్ని ఏకరీతిలో స్పట్టరింగ్ చేయవచ్చు మరియు లక్ష్య వినియోగ రేటు ఎక్కువగా ఉంటుంది. టార్గెట్ మెటీరియల్స్ వినియోగ రేటు దాదాపు 80%~90%.
2) స్థూపాకార లక్ష్యాలు "టార్గెట్ పాయిజనింగ్" ను ఉత్పత్తి చేయడం సులభం కాదు. పూత ప్రక్రియలో, టార్గెట్ ట్యూబ్ యొక్క ఉపరితలం ఎల్లప్పుడూ అయాన్లచే చిమ్మబడి చెక్కబడి ఉంటుంది మరియు ఉపరితలంపై మందపాటి ఆక్సైడ్లు మరియు ఇతర ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్లను కూడబెట్టుకోవడం సులభం కాదు మరియు "టార్గెట్ పాయిజనింగ్" ను ఉత్పత్తి చేయడం సులభం కాదు.
3) రోటరీ టార్గెట్ ట్యూబ్ రకం స్థూపాకార స్పట్టరింగ్ టార్గెట్ యొక్క నిర్మాణం సరళమైనది మరియు ఇన్స్టాల్ చేయడం సులభం.
4) స్థూపాకార లక్ష్య ట్యూబ్ పదార్థం వివిధ రకాలను కలిగి ఉంటుంది. మెటల్ టార్గెట్తో ప్లానర్ టార్గెట్ డైరెక్ట్ వాటర్ కూలింగ్, మరియు కొన్ని ప్రాసెస్ చేయబడవు మరియు స్థూపాకార లక్ష్యాలను ఏర్పరచలేవు, ఉదాహరణకు In2-SnO2 టార్గెట్, మొదలైనవి. ప్లేట్ లాంటి లక్ష్యాలను పొందడానికి వేడి ఐసోస్టాటిక్ నొక్కడం కోసం పౌడర్ మెటీరియల్తో, ఎందుకంటే పరిమాణాన్ని పెద్దగా మరియు పెళుసుగా చేయలేము, కాబట్టి బ్రేజింగ్ పద్ధతి మరియు రాగి బ్యాక్ప్లేట్ను ఉపయోగించి లక్ష్య బేస్లో ఇంటిగ్రేట్ చేసి ఇన్స్టాల్ చేయడం అవసరం. మెటల్ పైపులతో పాటు, స్తంభ లక్ష్యాలను స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ పైపుల ఉపరితలంపై Si వంటి పూత పూయవలసిన వివిధ పదార్థాలతో స్ప్రే చేయవచ్చు, Cr, మొదలైనవి.
ప్రస్తుతం, పారిశ్రామిక ఉత్పత్తిలో పూత కోసం స్థూపాకార లక్ష్యాల నిష్పత్తి పెరుగుతోంది. స్థూపాకార లక్ష్యాలు నిలువు పూత యంత్రానికి మాత్రమే కాకుండా రోల్ టు రోల్ పూత యంత్రంలో కూడా ఉపయోగించబడతాయి. ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, ప్లానార్ జంట లక్ష్యాలు క్రమంగా స్థూపాకార జంట లక్ష్యాల ద్వారా భర్తీ చేయబడుతున్నాయి.
——ఈ వ్యాసం గ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా టెక్నాలజీ ద్వారా విడుదల చేయబడింది, aఆప్టికల్ కోటింగ్ యంత్రాల తయారీదారు.
పోస్ట్ సమయం: మే-11-2023