Mambo yanayoathiri uundaji wa filamu Sura ya 2

(4) Nyenzo inayolengwa. Nyenzo inayolengwa ni ufunguo wa mipako ya sputtering, kwa ujumla, mradi nyenzo inayolengwa inakidhi mahitaji, na udhibiti mkali wa vigezo vya mchakato unaweza kuhitajika ili kupata safu ya filamu. Uchafu katika nyenzo lengwa na oksidi za uso na vitu vingine vichafu ni chanzo muhimu cha uchafuzi wa filamu, kwa hivyo ili kupata safu ya juu ya usafi, pamoja na matumizi ya nyenzo zenye lengo la usafi wa juu, katika kila sputtering inapaswa kuwa lengo la kwanza la kunyunyiza kabla ili kusafisha uso wa lengo, ili kuondoa uso unaolengwa wa safu ya oksidi.

(5) Utupu wa mandharinyuma. Kiwango cha utupu wa nyuma huonyesha moja kwa moja kiasi cha gesi iliyobaki katika mfumo, na gesi iliyobaki pia ni chanzo muhimu cha uchafuzi wa safu ya filamu, hivyo utupu wa nyuma unapaswa kuboreshwa iwezekanavyo. Juu ya uchafuzi wa tatizo jingine ni mafuta utbredningen pampu nyuma ya mafuta, kusababisha doping kaboni katika utando, mahitaji magumu zaidi ya utando inapaswa kuchukua hatua zinazofaa au matumizi ya mafuta ya bure high-utupu mfumo wa kusukumia.
(6) sputtering hewa shinikizo. Shinikizo la hewa inayofanya kazi huathiri moja kwa moja kiwango cha utuaji wa membrane.
Aidha, kutokana na vifaa mbalimbali sputtering katika uwanja wa umeme, anga, nyenzo lengo, substrate joto na muundo wa kijiometri wa vigezo ya mwingiliano kati ya utando wa kuzalisha mahitaji, ni muhimu kufanya majaribio juu ya vigezo ya mchakato, ambayo hali bora ya mchakato.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua