1) Cylindriska mål har högre utnyttjandegrad än plana mål. I beläggningsprocessen, oavsett om det är ett cylindriskt sputtermål av roterande magnettyp eller ett cylindriskt rörformat mål, passerar alla delar av målrörets yta kontinuerligt genom sputterområdet som genereras framför permanentmagneten för att ta emot katodsputtring, och målet kan sputteras och etsas jämnt, och målets utnyttjandegrad är hög. Utnyttjandegraden för målmaterialen är cirka 80%~90%.
2) Cylindriska måltavlor orsakar inte lätt "målförgiftning". Under beläggningsprocessen sputteras och etsas måltavlans yta alltid av joner, och det är inte lätt att ansamla tjocka oxider och andra isolerande filmer på ytan, vilket inte heller leder till "målförgiftning".
3) Strukturen hos det cylindriska sputtermålet av roterande målrörstyp är enkel och lätt att installera.
4) Det finns olika typer av cylindriska målrörsmaterial. Plana mål med direkt vattenkylning från metallmål, och vissa kan inte bearbetas och formas med cylindriska mål, såsom In2-SnO2-mål etc., med pulvermaterial för varm isostatisk pressning för att få plattliknande mål, eftersom storleken inte kan göras stor och spröd, så det är nödvändigt att använda lödningsmetod och kopparplatta för att integrera och sedan installera på målbasen. Förutom metallrör kan kolumnära mål också sprutas på ytan av rostfria stålrör med olika material som behöver beläggas, såsom Si, Cr, etc.
För närvarande ökar andelen cylindriska måltavlor för beläggning i industriell produktion. Cylindriska måltavlor används inte bara i vertikala beläggningsmaskiner utan även i rull-till-rulle-beläggningsmaskiner. På senare år har de plana dubbla måltavlorna gradvis ersatts av cylindriska dubbla måltavlor.
——Denna artikel publicerades av Guangdong Zhenhua Technology, entillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Publiceringstid: 11 maj 2023