(4) Boitsebiso bo reretsoeng. Lintho tse shebiloeng ke senotlolo sa ho roala sputtering, ka kakaretso, hafeela thepa e shebiloeng e kopana le litlhoko, 'me ho ka hlokahala taolo e tiileng ea mekhahlelo ea ts'ebetso ho fumana lera la filimi. Litšila ka thepa shebiloeng le holim oxides le lintho tse ling tse sa hloekang ke mohloli oa bohlokoa oa tšilafalo filimi, kahoo e le hore ho fumana lera phahameng bohloeki, ho phaella ho tshebediso ya phahameng bohloeki shebiloeng lintho tse bonahalang, ka mong le e mong sputtering e lokela ho ba sepheo sa pele bakeng sa pele ho sputtering e le hore ho hloekisa holim 'a shebiloeng, ho tlosa shebiloeng holim'a oxide e lera.
(5) Sekhechana sa bokamorao. Boemo ba vacuum e ka morao bo bonahatsa ka ho toba palo ea khase e setseng tsamaisong, 'me khase e setseng e boetse e le mohloli oa bohlokoa oa tšilafalo ea lera la filimi, kahoo vacuum e ka morao e lokela ho ntlafatsoa ka hohle kamoo ho ka khonehang. Tšilafalong ea bothata bo bong ke pompo ea phallo ea oli e khutlelang oli, e bakang carbon doping ka har'a lera, litlhoko tse thata haholo tsa lera li lokela ho nka mehato e nepahetseng kapa ho sebelisa sistimi ea ho pompa e se nang oli e phahameng ea vacuum.
(6) ho fafatsa khatello ea moea. Khatello ea moea e sebetsang e ama ka kotloloho sekhahla sa deposition ea membrane.
Ho phaella moo, ka lebaka la lisebelisoa tse fapaneng tsa sputtering tšimong ea motlakase, sepakapaka, thepa e shebiloeng, mocheso oa substrate le sebopeho sa thutatekanyo ea litekanyo tsa ho sebelisana pakeng tsa lera ho hlahisa litlhoko, ho hlokahala ho etsa liteko ka mekhahlelo ea ts'ebetso, ho tloha moo maemo a molemo ka ho fetisisa a tshebetso.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Jan-05-2024