(4) Материјал мете. Материјал мете је кључан за распршивање премаза, генерално, све док материјал мете испуњава захтеве, и може бити потребна строга контрола параметара процеса да би се добио слој филма. Нечистоће у материјалу мете и површински оксиди и друге нечисте супстанце су важан извор контаминације филма, тако да би се добио слој високе чистоће, поред употребе материјала мете високе чистоће, у сваком распршивању треба да буде прва мета за претходно распршивање како би се очистила површина мете, како би се уклонио слој оксида са површине мете.
(5) Позадински вакуум. Ниво позадинског вакуума директно одражава количину резидуалног гаса у систему, а резидуални гас је такође важан извор контаминације филмског слоја, тако да позадински вакуум треба што више побољшати. Још један проблем загађења је дифузиона пумпа уља која враћа уље у уље, што доводи до допирања угљеником у мембрани, па би требало предузети одговарајуће мере за строже захтеве мембране или користити систем пумпе са високим вакуумом без уља.
(6) притисак ваздуха за распршивање. Радни притисак ваздуха директно утиче на брзину наношења мембране.
Поред тога, због различитих уређаја за распршивање у електричном пољу, атмосфери, материјалу мете, температури подлоге и геометријској структури параметара интеракције између мембране да би се произвели захтеви, неопходно је извршити експерименте на параметрима процеса, из којих се бирају најбољи услови процеса.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 05.01.2024.