(4) Walxaha bartilmaameedka ah. Maaddada bartilmaameedku waa furaha daahan sputtering, guud ahaan, ilaa iyo inta walxaha bartilmaameedku buuxiyo shuruudaha, iyo xakamaynta adag ee xuduudaha habka ayaa loo baahan karaa si loo helo lakabka filimka. Nijaasta ku jirta walxaha la beegsanayo iyo oksaydhyada dusha sare iyo walxaha kale ee aan nadiifka ahayn ayaa ah isha muhiimka ah ee wasakheynta filimka, sidaas darteed si loo helo lakab nadiif ah oo sarreeya, marka lagu daro isticmaalka maaddada bartilmaameedka sare ee nadiifka ah, sputtering kasta waa inuu ahaadaa bartilmaameedka ugu horreeya ee horay loo sii daayo si loo nadiifiyo dusha sare ee bartilmaameedka, si looga saaro dusha sare ee lakabka oksaydhka.
(5) Faakuumka asalka ah. Heerka faakuumka asalka ahi wuxuu si toos ah u muujinayaa xaddiga gaaska haraaga ah ee nidaamka, gaaska haraaga ah sidoo kale waa isha muhiimka ah ee wasakheynta lakabka filimka, sidaas darteed faaruqinta asalka ah waa in la hagaajiyaa intii suurtagal ah. Wasakhowga dhibaatada kale waa bamka faafinta saliidda oo dib ugu soo noqda saliidda, taasoo keentay in kaarboon doping xuubka, shuruudaha adag ee xuubka waa inay qaadaan tallaabooyin ku habboon ama isticmaalka nidaamka bamgareynta sare ee faakuumka-free-free.
(6) Cadaadiska hawada oo candhuufaysa. Cadaadiska hawada ee shaqeeya ayaa si toos ah u saameeya heerka dhigaalka xuubka.
Intaa waxaa dheer, iyadoo ay ugu wacan tahay qalabka sputtering kala duwan ee beerta korontada, jawiga, walxaha bartilmaameedka, heerkulka substrate iyo qaab-dhismeedka joomatari ee xuduudaha isdhexgalka ee u dhexeeya xuubka si ay u soo saaraan shuruudaha, waxaa lagama maarmaan ah in la sameeyo tijaabooyin ku saabsan xuduudaha habka, kaas oo ka mid ah xaaladaha habka ugu wanaagsan.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jan-05-2024