O mea e a'afia ai le fausiaina o ata Mata'upu 2

(4) Mea fa'atatau. Mea fa'atatau o le ki lea i le sputtering coating, i se tulaga lautele, pe afai o le mea fa'atatau e fetaui ma mana'oga, ma e mafai ona mana'omia le pulea lelei o le fa'agasologa o le fa'agasologa e maua ai le ata tifaga. O mea leaga i totonu o mea faʻatatau ma oxides luga ma isi mea le mama o se punavai taua o le faʻaleagaina o ata, ina ia mafai ai ona maua se tulaga mama maualuga, faʻaopoopo i le faʻaogaina o mea faʻapitoa maualuga mama, i sputtering taʻitasi e tatau ona avea ma faʻamuamua muamua mo le muaʻi faʻamama ina ia faʻamama le pito i luga o le sini, e aveese le faʻamoemoega o le vaega o le oxide.

(5) Tulaga gaogao. O le maualuga o le gaogao pito i tua e atagia saʻo ai le aofaʻi o le kesi o totoe i totonu o le faiga, ma o le kesi o totoe o se punavai taua foi o le faʻaleagaina o le ata tifaga, o lea e tatau ai ona faʻaleleia atili le gaogao i tua i le tele e mafai ai. I luga o le filogia o le isi faafitauli o le suauu diffusion pamu i tua atu i le suauu, e mafua ai le carbon doping i le membrane, o le sili atu le mamafa o manaoga o le membrane e tatau ona faia ni faiga talafeagai po o le faʻaogaina o le suauʻu e leai se totogi maualuga-vacuum pumping system.
(6) mapuna a'e le mamafa o le ea. O le mamafa o le ea galue e aʻafia saʻo ai le faʻaogaina o le paʻu.
E le gata i lea, ona o le eseese o masini sputtering i totonu o le eletise eletise, atemosifia, mea faʻatatau, vevela substrate ma fausaga geometric o taʻiala o le fegalegaleai i le va o le membrane e maua ai manaʻoga, e tatau ona faia faʻataʻitaʻiga i luga o tapulaʻa o le faagasologa, lea e sili ona lelei le faagasologa o tulaga.

–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua