1) O sini fa'akomepiuta e sili atu le fa'aogaina o fua fa'atatau nai lo fa'amoemoega fa'atatau. I le faagasologa o le ufiufi, pe o se ituaiga maneta rotary po o se faagaau rotary ituaiga cylindrical sputtering taulaiga, vaega uma o le pito i luga o le faagaau sini e faaauau pea i le vaega sputtering faia i luma o le maneta tumau e maua cathode sputtering, ma le sini e mafai ona tutusa sputtered etched, ma le fua faatatau faaaogaina e maualuga. Ole fua ole faʻaaogaina o mea faʻatatau ile 80% ~ 90%.
2) Ole a le faigofie le fa'atupuina o le 'ona o'ona. I le taimi o le faʻagasologa o le ufiufi, o le pito i luga o le faʻamau faʻamau e masani ona faʻafefeteina ma faʻapipiʻiina e ions, ma e le faigofie ona faʻaputuina oxides mafiafia ma isi ata tifaga insulating i luga o le fogaeleele, ma e le faigofie ona maua ai le "mea oona".
3) O le faʻatulagaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le cylindrical sputtering e faigofie ma faigofie ona faʻapipiʻi.
4) O le cylindrical target tube mea e eseese ituaiga. fuafuaga fuafuaga ma sini uamea cooling vai tuusao, ma o nisi e le mafai ona faagaoioia ma faia cylindrical sini, e pei o In2-SnO2 sini, ma isi ma mea efuefu mo vevela isostatic fetaomi ina ia maua sini ipu-pei, ona o le tele e le mafai ona faia tele, ma brittle, o lea e tatau ai ona faaaoga le brazing metotia ma backplate apamemea e tuufaatasia ma faapipii i luga o le faavae autu. I le faʻaopoopoga i paipa uʻamea, e mafai foi ona faʻapipiʻi faʻamaufaʻailoga i luga o le pito i luga o paipa uʻamea ma mea eseese e manaʻomia ona ufiufi, pei o Si, Cr, ma isi.
I le taimi nei, o loʻo faʻatupulaʻia le aofaʻi o sini faʻailo mo le faʻapipiʻiina i gaosiga o pisinisi. Cylindrical sini e le gata e faʻaaogaina mo le masini faʻapipiʻi saʻo ae faʻaaoga foi i le lola e taʻavale ai masini faʻapipiʻi. I tausaga talu ai nei, ua faasolosolo malie le suia o le masaga planar i le Cylindrical twin targets.
——O lenei tusiga na tatalaina e Guangdong Zhenhua Technology, agaosiga o masini fa'apipi'i mata.
Taimi meli: Me-11-2023