(4) Tarčni material. Tarčni material je na splošno ključnega pomena za naprševanje, če izpolnjuje zahteve, in za pridobitev filmske plasti je lahko potreben strog nadzor procesnih parametrov. Nečistoče v tarčnem materialu ter površinski oksidi in druge nečistoče so pomemben vir onesnaženja filma, zato je treba za pridobitev visoko čiste plasti poleg uporabe visoko čistega tarčnega materiala pri vsakem naprševanju najprej tarčo predhodno naprševati, da se očisti površina tarče in odstrani oksidna plast s površine tarče.
(5) Vakuum v ozadju. Raven vakuuma v ozadju neposredno odraža količino preostalega plina v sistemu, preostali plin pa je tudi pomemben vir onesnaženja filmske plasti, zato je treba vakuum v ozadju čim bolj izboljšati. Druga težava pri onesnaženju je difuzijska črpalka olja, ki se vrača v olje, kar povzroči dopiranje z ogljikom v membrani, zato je treba sprejeti ustrezne ukrepe za strožje zahteve glede membrane ali uporabiti visokovakuumski črpalni sistem brez olja.
(6) tlak zraka za naprševanje. Delovni zračni tlak neposredno vpliva na hitrost nanašanja membrane.
Poleg tega je zaradi različnih parametrov interakcije med membrano v napravah za razprševanje v električnem polju, atmosferi, materialu tarče, temperaturi substrata in geometrijski strukturi, ki ustrezajo zahtevam, potrebno izvesti poskuse s parametri procesa, iz katerih je mogoče izbrati najboljše procesne pogoje.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 05.01.2024