1) Valjaste tarče imajo višjo stopnjo izkoriščenosti kot ravninske tarče. Pri postopku nanašanja prevleke, ne glede na to, ali gre za rotacijsko magnetno ali rotacijsko cevasto cilindrično tarčo za razprševanje, vsi deli površine tarčne cevi neprekinjeno prehajajo skozi območje razprševanja, ki nastane pred permanentnim magnetom, da sprejmejo katodno razprševanje, tarča pa se lahko enakomerno razprši in jedka, stopnja izkoriščenosti tarče pa je visoka. Stopnja izkoriščenosti materialov tarč je približno 80 %~90 %.
2) Valjaste tarče ne bodo zlahka povzročile »zastrupitve tarče«. Med postopkom nanašanja je površina tarčne cevi vedno razpršena in jedkana z ioni, zato se na površini ne kopičijo debeli oksidi in drugi izolacijski filmi, zato ni lahko povzročiti »zastrupitve tarče«.
3) Struktura valjaste tarče za razprševanje z vrtljivo cevjo je preprosta in enostavna za namestitev.
4) Material valjaste tarče je različnih vrst. Ploščata tarča s kovinsko tarčo, ki se neposredno hladi z vodo, in nekaterih ni mogoče obdelati in oblikovati valjastih tarč, kot je tarča In2-SnO2 itd., s praškastim materialom za vroče izostatično stiskanje za pridobitev ploščatih tarč, ker velikosti ni mogoče narediti velike in so krhke, zato je treba uporabiti metodo spajkanja in bakreno zadnjo ploščo za integracijo in nato namestitev na podlago tarče. Poleg kovinskih cevi se lahko stebraste tarče brizgajo tudi na površino cevi iz nerjavečega jekla z različnimi materiali, ki jih je treba prevleči, kot so Si, Cr itd.
Trenutno se delež valjastih tarč za premazovanje v industrijski proizvodnji povečuje. Valjaste tarče se ne uporabljajo le za vertikalne stroje za premazovanje, temveč tudi za stroje za premazovanje z valjčkom na valjček. V zadnjih letih ravninske dvojne tarče postopoma nadomeščajo valjaste dvojne tarče.
——Ta članek je objavilo podjetje Guangdong Zhenhua Technology,proizvajalec strojev za optično nanašanje premazov.
Čas objave: 11. maj 2023