1) Valcové terče majú vyššiu mieru využitia ako planárne terče. V procese nanášania povlaku, či už ide o valcový naprašovací terč s rotačným magnetickým typom alebo valcový naprašovací terč s rotačnou trubicou, všetky časti povrchu terča kontinuálne prechádzajú naprašovacou plochou vytvorenou pred permanentným magnetom, aby prijímali naprašovanie katódou, a terč môže byť rovnomerne naprašovaný a leptaný s vysokou mierou využitia terča. Miera využitia materiálov terča je približne 80 % až 90 %.
2) Valcové terče nie je ľahké spôsobiť „otravu terča“. Počas procesu nanášania povlaku je povrch terčovej trubice vždy naprašovaný a leptaný iónmi, a preto nie je ľahké hromadiť hrubé oxidy a iné izolačné filmy na povrchu a nie je ľahké spôsobiť „otravu terča“.
3) Štruktúra valcového naprašovacieho terča s rotačnou cieľovou trubicou je jednoduchá a ľahko sa inštaluje.
4) Materiál valcovej terčovej trubice má rôzne typy. Planárny terč s kovovým terčom s priamym vodným chladením a niektoré nie je možné spracovať a tvarovať valcové terče, ako napríklad In2-SnO2 terč atď. s práškovým materiálom na izostatické lisovanie za tepla, aby sa získali doskové terče, pretože veľkosť nie je možné vyrobiť veľká a sú krehké, preto je potrebné použiť metódu spájkovania a medenú zadnú dosku na integráciu a následnú inštaláciu na základňu terča. Okrem kovových rúrok je možné na povrch nerezových rúrok nastriekať aj stĺpcové terče s rôznymi materiálmi, ktoré je potrebné potiahnuť, ako napríklad Si, Cr atď.
V súčasnosti sa v priemyselnej výrobe zvyšuje podiel valcových terčov na nanášanie povrchov. Valcové terče sa nepoužívajú len vo vertikálnych nanášacích strojoch, ale aj v valcových nanášacích strojoch. V posledných rokoch sa planárne dvojité terče postupne nahrádzajú valcovými dvojitými terčmi.
——Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua Technology,výrobca optických nanášacích strojov.
Čas uverejnenia: 11. mája 2023